[發明專利]引線接合裝置以及半導體裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201380024890.3
• 申請日: 2013-09-18
• 公開（公告）號: CN104813455B
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 關根直希;中澤基樹;長島康雄
• 申請（專利權）人: 株式會社新川
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 馬雯雯,臧建明

1.一種引線接合裝置，包括：

插通有鋁線的毛細管；

使所述鋁線相對于所述毛細管呈現挾持狀態的夾鉗；

用于將從所述毛細管的前端凸出的所述鋁線整形成規定的彎曲形狀的折疊站；以及

控制所述毛細管的移動與所述夾鉗的動作的控制部，

所述控制部執行：

第1接合處理，在引線接合的第1接合點使用插通有所述鋁線的所述毛細管并通過楔形接合法使第1接合對象物與所述鋁線之間接合；

第2接合處理，在所述第1接合處理之后，使所述鋁線從所述第1接合點延展規定的回路長，并在所述引線接合的第2接合點使第2接合對象物與所述鋁線之間接合；

切斷處理，在所述第2接合處理之后，使所述鋁線處于所述挾持狀態，并使插通有所述鋁線的所述毛細管向正交于所述毛細管的軸方向的水平方向移動，并從所述第2接合點切斷所述鋁線；

預接合處理，在所述切斷處理之后，使所述鋁線從所述第2接合點延展到規定的預接合點，并在所述預接合點進行預接合之后，使所述鋁線處于所述挾持狀態，并使插通有所述鋁線的所述毛細管在平行于所述毛細管的軸方向的方向移動，并從所述預接合點切斷所述鋁線；以及

整形處理，在所述預接合處理之后，將處于從前端凸出有所述鋁線的狀態的所述毛細管移動到預先決定的折疊站的位置，將所述毛細管的前端壓接到所述折疊站的上表面，并將從所述毛細管的前端凸出的所述鋁線整形成規定的彎曲形狀，其中所述預先決定的折疊站的位置與所述規定的預接合點不同，

所述規定的彎曲形狀為對于所述第1接合點與所述第2接合點之間而言，在所述鋁線的連接方向不同時，使各自的連接方向一致并彎曲的形狀。

2.一種引線接合裝置，包括：

插通有鋁線的毛細管；

使所述鋁線相對于所述毛細管呈現挾持狀態的夾鉗；以及

控制所述毛細管的移動與所述夾鉗的動作的控制部，

所述控制部執行：

第1接合處理，在引線接合的第1接合點使用插通有所述鋁線的所述毛細管并通過楔形接合法使第1接合對象物與所述鋁線之間接合；

第2接合處理，在所述第1接合處理之后，使所述鋁線從所述第1接合點延展規定的回路長，并在所述引線接合的第2接合點使第2接合對象物與所述鋁線之間接合；

切斷處理，在所述第2接合處理之后，使所述鋁線處于所述挾持狀態，并使插通有所述鋁線的所述毛細管向正交于所述毛細管的軸方向的水平方向移動，并從所述第2接合點切斷所述鋁線；

預接合處理，在所述切斷處理之后，使所述鋁線從所述第2接合點延展到規定的預接合點，并在所述預接合點進行從所述毛細管的前端凸出的所述鋁線的預接合；以及

整形處理，在所述預接合處理之后，首先使所述鋁線處于所述挾持狀態，并使插通有所述鋁線的所述毛細管在與所述毛細管的軸方向相同的方向僅移動規定的距離，接著使所述鋁線處于所述挾持狀態，并使插通有所述鋁線的所述毛細管在所述水平面內向規定方向僅移動規定的距離，并從所述預接合點切斷所述鋁線，藉此將從所述毛細管的前端凸出的所述鋁線整形成規定的彎曲形狀，其中所述規定的預接合點位于不連接所述第1接合對象物以及所述第2接合對象物的位置，

所述規定的彎曲形狀為對于所述第1接合點與所述第2接合點之間而言，在所述鋁線的連接方向不同時，使各自的連接方向一致并彎曲的形狀。

3.根據權利要求1或2所述的引線接合裝置，其中在所述第1接合點以及所述第2接合點的所述引線接合通過楔形接合法進行。