[發(fā)明專利]蓋開(kāi)閉裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380024838.8
• 申請(qǐng)日: 2013-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104285289B
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倉(cāng)津德幸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 村田機(jī)械株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;B65D55/02;B65D85/86;H01L21/673
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;田軍鋒

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及針對(duì)收納被收納物的收納容器進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的開(kāi)閉的蓋開(kāi)閉裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示裝置等的制造工廠的無(wú)塵室中，將半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等以收納于收納容器的狀態(tài)進(jìn)行輸送。因此，當(dāng)在收納容器與各種裝置之間移動(dòng)放置被收納物時(shí)，需要使用蓋開(kāi)閉裝置進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的開(kāi)閉。以往，為了迅速且穩(wěn)定地進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的開(kāi)閉，提出有將使收納容器的內(nèi)外的壓力差平衡的壓力平衡機(jī)構(gòu)設(shè)置于蓋開(kāi)閉裝置等的各種技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本專利第3180600號(hào)公報(bào)

在上述的半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示裝置等的制造工廠中，由于對(duì)于各種部件的輸送效率的提高要求較為苛刻，因此對(duì)于收納容器與各種裝置之間的被收納物的移動(dòng)放置而言，提高其效率也極為重要。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠以可實(shí)現(xiàn)低成本化的結(jié)構(gòu)迅速并且穩(wěn)定地進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的開(kāi)閉的蓋開(kāi)閉裝置。

本發(fā)明的蓋開(kāi)閉裝置，針對(duì)具備收納被收納物的容器主體、形成能夠相對(duì)于容器主體開(kāi)閉的底部并且供被收納物載置的蓋部、進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的開(kāi)鎖以及上鎖的鎖機(jī)構(gòu)的收納容器，進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的開(kāi)閉，其中，上述蓋開(kāi)閉裝置具備：裝置主體，該裝置主體供收納容器載置；多個(gè)移動(dòng)部，上述多個(gè)移動(dòng)部具有當(dāng)收納容器被載置于裝置主體時(shí)與鎖機(jī)構(gòu)卡合的卡合部，通過(guò)使卡合部移動(dòng)，來(lái)進(jìn)行用于使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行開(kāi)鎖的開(kāi)鎖動(dòng)作以及用于使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行上鎖的上鎖動(dòng)作；聯(lián)動(dòng)部，該聯(lián)動(dòng)部在使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行開(kāi)鎖的情況下，使多個(gè)移動(dòng)部聯(lián)動(dòng)來(lái)使多個(gè)移動(dòng)部進(jìn)行開(kāi)鎖動(dòng)作，當(dāng)使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行上鎖的情況下，使多個(gè)移動(dòng)部聯(lián)動(dòng)來(lái)使多個(gè)移動(dòng)部進(jìn)行上鎖動(dòng)作；以及致動(dòng)器，該致動(dòng)器相對(duì)于移動(dòng)部以及聯(lián)動(dòng)部被設(shè)置為一個(gè)，同時(shí)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)部以及聯(lián)動(dòng)部。

在該蓋開(kāi)閉裝置中，當(dāng)在收納容器中使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的開(kāi)鎖的情況下，聯(lián)動(dòng)部使多個(gè)移動(dòng)部聯(lián)動(dòng)來(lái)使多個(gè)移動(dòng)部進(jìn)行開(kāi)鎖動(dòng)作。另一方面，當(dāng)在收納容器中使鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的上鎖的情況下，聯(lián)動(dòng)部使多個(gè)移動(dòng)部聯(lián)動(dòng)來(lái)使多個(gè)移動(dòng)部進(jìn)行上鎖動(dòng)作。這樣，基于多個(gè)移動(dòng)部的開(kāi)鎖動(dòng)作以及上鎖動(dòng)作被同時(shí)進(jìn)行，因此動(dòng)作上不產(chǎn)生偏差，能夠迅速并且確切地進(jìn)行開(kāi)鎖動(dòng)作以及上鎖動(dòng)作。并且，由于一個(gè)致動(dòng)器同時(shí)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)部以及聯(lián)動(dòng)部，因此能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。進(jìn)而，在進(jìn)行機(jī)構(gòu)的調(diào)整時(shí)，由于只要調(diào)整致動(dòng)器與被驅(qū)動(dòng)部分所連接的部位即可，因此從便于維護(hù)的觀點(diǎn)出發(fā)也能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。基于此，根據(jù)該蓋開(kāi)閉裝置，能夠以可實(shí)現(xiàn)低成本化的結(jié)構(gòu)迅速并且穩(wěn)定地進(jìn)行蓋部相對(duì)于容器主體的開(kāi)閉。

也可以構(gòu)成為，移動(dòng)部還分別具有第1轉(zhuǎn)動(dòng)部件，該第1轉(zhuǎn)動(dòng)部件以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承于裝置主體，并且使卡合部移動(dòng)，聯(lián)動(dòng)部具有第1連結(jié)部件，該第1連結(jié)部件連結(jié)至少一對(duì)第1轉(zhuǎn)動(dòng)部件并使該第1轉(zhuǎn)動(dòng)部件轉(zhuǎn)動(dòng)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠憑借包括第1轉(zhuǎn)動(dòng)部件以及連結(jié)部件的連桿機(jī)構(gòu)之類的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)，使得多個(gè)移動(dòng)部分別可靠地動(dòng)作。

也可以構(gòu)成為，由第1連結(jié)部件連結(jié)的一對(duì)第1轉(zhuǎn)動(dòng)部件以當(dāng)收納容器被載置于裝置主體時(shí)相對(duì)于蓋部分別位于一側(cè)以及另一側(cè)的方式被配置有多對(duì)，聯(lián)動(dòng)部還具有：一對(duì)第2轉(zhuǎn)動(dòng)部件，上述一對(duì)第2轉(zhuǎn)動(dòng)部件以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承于裝置主體，并與第1連結(jié)部件分別連接；第2連結(jié)部件，該第2連結(jié)部件連結(jié)一對(duì)第2轉(zhuǎn)動(dòng)部件并使該第2轉(zhuǎn)動(dòng)部件轉(zhuǎn)動(dòng)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，即使在以相對(duì)于蓋部分別位于一側(cè)以及另一側(cè)的方式配置多對(duì)移動(dòng)部的情況下，也能夠使多個(gè)移動(dòng)部分別可靠地動(dòng)作。

也可以構(gòu)成為，裝置主體具有：凹部，移動(dòng)部、聯(lián)動(dòng)部以及致動(dòng)器的凹部配置于該凹部；頂板部，該頂板部覆蓋凹部并形成供收納容器載置的載置面，卡合部為立起設(shè)置于第1轉(zhuǎn)動(dòng)部件的卡合銷，在頂板部設(shè)置有長(zhǎng)孔狀的開(kāi)口，借助該長(zhǎng)孔狀的開(kāi)口使卡合銷從載置面突出且使卡合銷能夠在開(kāi)鎖動(dòng)作的位置與上鎖動(dòng)作的位置之間移動(dòng)。在直動(dòng)式機(jī)構(gòu)(桿等)中，伴隨于體積移動(dòng)而空氣被推壓，因此所產(chǎn)生的顆粒容易擴(kuò)散。另一方面，轉(zhuǎn)動(dòng)式機(jī)構(gòu)通常情況下與直動(dòng)式機(jī)構(gòu)相比，體積移動(dòng)少(如果為正圓板則理論上為零)，另外由于容易確定滑動(dòng)的部位(例如軸支承部分等)，因此對(duì)于所產(chǎn)生的顆粒的擴(kuò)散抑制效果高。在上述結(jié)構(gòu)中，作為轉(zhuǎn)動(dòng)式機(jī)構(gòu)的第1轉(zhuǎn)動(dòng)部件在裝置主體的凹部中位于面向頂板部的開(kāi)口的位置，直動(dòng)式機(jī)構(gòu)從該位置分離。因此，能夠確切地抑制所產(chǎn)生的顆粒經(jīng)由開(kāi)口流出裝置主體外，能夠防止污染周圍的無(wú)塵的環(huán)境。