[發明專利]蓋開閉裝置有效
| 申請號: | 201380024838.8 | 申請日: | 2013-03-26 |
| 公開(公告)號: | CN104285289B | 公開(公告)日: | 2016-10-26 |
| 發明(設計)人: | 倉津德幸 | 申請(專利權)人: | 村田機械株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;B65D55/02;B65D85/86;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艷君;田軍鋒 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 開閉 裝置 | ||
1.一種蓋開閉裝置,針對具備收納被收納物的容器主體、形成能夠相對于所述容器主體開閉的底部并且供所述被收納物載置的蓋部、進行所述蓋部相對于所述容器主體的開鎖以及上鎖的鎖機構的收納容器,進行所述蓋部相對于所述容器主體的開閉,
所述蓋開閉裝置的特征在于,
所述蓋開閉裝置具備:
裝置主體,該裝置主體供所述收納容器載置;
多個移動部,所述多個移動部具有當所述收納容器被載置于所述裝置主體時與所述鎖機構卡合的卡合部,通過使所述卡合部移動,來進行用于使所述鎖機構進行所述開鎖的開鎖動作以及用于使所述鎖機構進行所述上鎖的上鎖動作;
聯動部,該聯動部在使所述鎖機構進行所述開鎖的情況下,使多個所述移動部聯動來使多個所述移動部進行所述開鎖動作,當使所述鎖機構進行所述上鎖的情況下,使多個所述移動部聯動來使多個所述移動部進行所述上鎖動作;以及
致動器,該致動器相對于所述移動部以及所述聯動部被設置為一個,同時驅動所述移動部以及所述聯動部。
2.根據權利要求1所述的蓋開閉裝置,其特征在于,
所述移動部還分別具有第1轉動部件,該第1轉動部件以能夠轉動的方式支承于所述裝置主體,并且使所述卡合部移動,
所述聯動部具有第1連結部件,該第1連結部件連結至少一對所述第1轉動部件并使該第1轉動部件轉動。
3.根據權利要求2所述的蓋開閉裝置,其特征在于,
由所述第1連結部件連結的一對所述第1轉動部件,以當所述收納容器被載置于所述裝置主體時相對于所述蓋部分別位于一側及另一側的方式被配置有多對,
所述聯動部還具有:一對第2轉動部件,所述一對第2轉動部件以能夠轉動的方式支承于所述裝置主體,并與所述第1連結部件分別連接;第2連結部件,該第2連結部件連結一對所述第2轉動部件并使該第2轉動部件轉動。
4.根據權利要求2或3所述的蓋開閉裝置,其特征在于,
所述裝置主體具有:凹部,所述移動部、所述聯動部以及所述致動器配置于該凹部;頂板部,該頂板部覆蓋所述凹部并形成供所述收納容器載置的載置面,
所述卡合部為立起設置于所述第1轉動部件的卡合銷,
在所述頂板部設置有長孔狀的開口,借助該開口使所述卡合銷從所述載置面突出且使所述卡合銷能夠在所述開鎖動作的位置與所述上鎖動作的位置之間移動。
5.根據權利要求3所述的蓋開閉裝置,其特征在于,
所述致動器為氣缸,該氣缸具有:缸體部,該缸體部安裝于所述裝置主體;桿部,該桿部的基端部插入至所述缸體部內且前端部安裝于所述第2連結部件,所述氣缸通過氣體相對于所述缸體部內的導出或導入來使所述桿部滑動。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





