[發明專利]圓板形工件用外周研磨裝置

有效

• 申請號: 201380023886.5
• 申請日: 2013-02-14
• 公開（公告）號: CN104284755A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 加藤忠弘;江成昭敏;五十子光孝
• 申請（專利權）人: 信越半導體股份有限公司;快遞股份有限公司
• 主分類號: B24B9/00
• 分類號: B24B9/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉

技術領域

本發明涉及用于對形成在圓板形工件的表面及背面的外周部分上的傾斜面狀的邊緣進行研磨的外周研磨裝置。

背景技術

作為圓板形工件的一種的半導體晶片(以下稱作“工件”)W，如在圖7將其一部分放大所示，在表面及背面的外周緣部上形成有進行倒角加工而成的傾斜面狀的邊緣Ea、Eb，通過外周研磨裝置對該邊緣Ea、Eb進行研磨。在專利文獻1中，公開有用于對這樣的邊緣進行研磨的外周研磨裝置。

如在圖7及圖8中示意地表示對背面側的邊緣Eb進行研磨的情況那樣，所述外周研磨裝置具有研磨部件100，該研磨部件100通過在墊座101的呈弧狀的墊貼附面101a上貼附研磨墊102而形成，使通過所述研磨墊102形成的弧狀的作業面103以與所述邊緣Eb平行的方式傾斜并與該邊緣Eb面接觸，在該狀態下使所述工件W繞著垂直的軸線旋轉來通過所述作業面103對所述邊緣Eb進行研磨。此時，所述研磨部件100通過未圖示的擺動機構而沿著與所述邊緣Eb平行的直線(擺動直線)L緩慢地擺動，以所述作業面103整體進行邊緣Eb的研磨。

這樣，所述外周研磨裝置使所述研磨部件100的弧狀的作業面103與工件W的邊緣Eb面接觸而進行研磨，因此研磨效率優異，但是，由于所述作業面103及擺動直線L相對于水平面S的傾斜角度α固定于固定角度，因此只能夠對具有與該傾斜角度α相同的坡口角度(邊緣和工件的表面或背面所成的角度)的工件進行研磨，具有改進的余地。即，對于所有工件，邊緣的坡口角度不是固定的，根據工件不同坡口角度的大小各有不同，因此，期望使所述作業面103及擺動直線L的傾斜角度α能夠配合工件的坡口角度而調整，由此能夠應對于坡口角度不同的各種工件。

另一方面，在專利文獻2及3中，公開有一種研磨裝置，該研磨裝置構成為能夠使研磨工具相對于工件相對傾轉，通過改變該研磨工具相對于工件的接觸角度，對邊緣整體進行研磨。

但是，該研磨裝置一邊逐漸地改變所述研磨工具相對于工件的接觸角度，一邊對邊緣進行研磨，與所述專利文獻1中記載的外周研磨裝置的結構及作用基本不同，因此，無法將其技術直接應用于該外周研磨裝置。

現有技術文獻：

專利文獻

專利文獻1：日本特開2002-144201號公報

專利文獻2：日本特開2004-154880號公報

專利文獻3：日本特開2009-297842號公報

發明內容

本發明的目的在于，在使研磨部件的作業面平行地朝向工件的邊緣并與該邊緣面接觸、且通過在該狀態下使該研磨部件沿著與所述邊緣平行的擺動直線擺動而對該邊緣進行研磨的外周研磨裝置中，通過使所述作業面及擺動直線的傾斜角度能夠配合工件的坡口角度而調整，能夠應對坡口角度不同的各種工件。

為了達成上述目的，根據本發明，提供一種外周研磨裝置，該外周研磨裝置具有：裝夾機構，其對圓板形的工件進行保持并使其繞著軸線旋轉；和表面側及背面側的邊緣研磨單元，其通過研磨部件的呈弧狀的作業面對所述工件的表面側及背面側的邊緣進行研磨。

所述邊緣研磨單元具有：研磨部件安裝體，其能夠更換地安裝所述研磨部件；安裝體支承部，其傾轉自如地支承該研磨部件安裝體；安裝體用角度調整機構，其調整所述研磨部件安裝體的傾斜角度，使得所述研磨部件的作業面與工件的邊緣平行；載荷施加機構，其將所述研磨部件的作業面按壓在所述工件的邊緣上來施加研磨載荷；擺動支承基座，其以沿著相對于所述軸線傾斜的直線(擺動直線)移動自如的方式支承所述安裝體支承部；擺動機構，其使所述安裝體支承部沿著所述直線擺動；基座支承部，其傾轉自如地支承所述擺動支承基座；基座用角度調整機構，其調整所述擺動支承基座的傾斜角度，使得所述直線與所述工件的邊緣平行；以及基臺部，其以能夠在垂直方向及水平方向上進行位置校正的方式支承所述基座支承部。

在本發明中，優選所述研磨部件構成為，該研磨部件的基準面與所述作業面所成的角度即作業面角度形成為與工件的坡口角度相等的角度，通過將該研磨部件安裝在所述研磨部件安裝體上并使所述基準面朝向水平而使所述作業面與工件的邊緣平行。

在本發明中優選的是，所述研磨部件安裝體以與工件的軸線正交的第1樞軸為中心傾轉自如地支承在所述安裝體支承部上，所述擺動支承基座以與所述第1樞軸平行的第2樞軸為中心傾轉自如地支承在所述基座支承部上。