[發明專利]圓板形工件用外周研磨裝置

有效

• 申請號: 201380023886.5
• 申請日: 2013-02-14
• 公開（公告）號: CN104284755A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 加藤忠弘;江成昭敏;五十子光孝
• 申請（專利權）人: 信越半導體股份有限公司;快遞股份有限公司
• 主分類號: B24B9/00
• 分類號: B24B9/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉

1.一種圓板形工件用外周研磨裝置，用于對形成在圓板形工件的表面及背面的外周部分上的傾斜面狀的邊緣進行研磨，其特征在于，

所述外周研磨裝置具有：裝夾機構，其對所述工件進行保持并使所述工件繞著軸線旋轉；和表面側及背面側的邊緣研磨單元，其通過研磨部件的呈弧狀的作業面對所述工件的表面側及背面側的邊緣進行研磨，

所述表面側及背面側的邊緣研磨單元具有：研磨部件安裝體，其能夠更換地安裝所述研磨部件；安裝體支承部，其傾轉自如地支承該研磨部件安裝體；安裝體用角度調整機構，其調整所述研磨部件安裝體的傾斜角度，使得所述研磨部件的作業面與工件的邊緣平行；載荷施加機構，其將所述研磨部件的作業面按壓在所述工件的邊緣上來施加研磨載荷；擺動支承基座，其以沿著相對于所述軸線傾斜的直線移動自如的方式支承所述安裝體支承部；擺動機構，其使所述安裝體支承部沿著所述直線擺動；基座支承部，其傾轉自如地支承所述擺動支承基座；基座用角度調整機構，其調整所述擺動支承基座的傾斜角度，使得所述直線與所述工件的邊緣平行；以及基臺部，其以能夠在垂直方向及水平方向上進行位置校正的方式支承所述基座支承部。

2.根據權利要求1所述的圓板形工件用外周研磨裝置，其特征在于，

所述研磨部件構成為，該研磨部件的基準面與所述作業面所成的角度即作業面角度形成為與工件的坡口角度相等的角度，通過將該研磨部件安裝在所述研磨部件安裝體上并使所述基準面朝向水平而使所述作業面與工件的邊緣平行。

3.根據權利要求1或2所述的圓板形工件用外周研磨裝置，其特征在于，

所述研磨部件安裝體以與工件的軸線正交的第1樞軸為中心傾轉自如地支承在所述安裝體支承部上，所述擺動支承基座以與所述第1樞軸平行的第2樞軸為中心傾轉自如地支承在所述基座支承部上。

4.根據權利要求3所述的圓板形工件用外周研磨裝置，其特征在于，

所述安裝體支承部具有：擺動滑動基座，其以沿著所述直線移動自如的方式支承在所述擺動支承基座上；和滑動部件，其以在與所述直線正交的方向上移動自如的方式支承在該擺動滑動基座上，該滑動部件與所述載荷施加機構連結，所述研磨部件安裝體支承在該滑動部件上。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的圓板形工件用外周研磨裝置，其特征在于，

所述基臺部具有：第1基臺部分，其配置在固定位置上；第2基臺部分，其以在水平方向上移動自如的方式支承在該第1基臺部分上，并以在垂直方向上移動自如的方式支承所述基座支承部；水平位置校正機構，其對該第2基臺部分的水平方向位置進行校正；和垂直位置校正機構，其對所述基座支承部相對于該第2基臺部分的垂直方向位置進行校正。