[發(fā)明專利]制造設(shè)備的監(jiān)視裝置以及監(jiān)視方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201380022825.7 | 申請(qǐng)日: | 2013-07-02 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN104272431B | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-03-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 山地要;魚(yú)山和哉;森田康之;宮武宏明 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01L21/02 | 分類號(hào): | H01L21/02;G05B19/418 |
| 代理公司: | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227 | 代理人: | 李洋,舒艷君 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 制造 設(shè)備 監(jiān)視 裝置 以及 方法 | ||
1.一種制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,通過(guò)服務(wù)器和能夠與該服務(wù)器通信的移動(dòng)終端來(lái)監(jiān)視配設(shè)在工廠內(nèi)的包含至少多個(gè)制造裝置的制造設(shè)備,所述制造設(shè)備的監(jiān)視裝置的特征在于,
所述移動(dòng)終端具有:
位置信息獲取單元,其獲取與該移動(dòng)終端的當(dāng)前的位置有關(guān)的位置信息;
拍攝元件;
方向檢測(cè)單元,其檢測(cè)所述拍攝元件所朝向的方向;以及
顯示單元,
所述服務(wù)器具有存儲(chǔ)單元,該存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)與所述工廠內(nèi)的所述制造設(shè)備的布局有關(guān)的布局信息、和與所述制造設(shè)備有關(guān)的制造設(shè)備信息,
在所述拍攝元件朝向所述制造設(shè)備時(shí),所述服務(wù)器基于通過(guò)所述位置信息獲取單元獲取到的位置信息、通過(guò)所述方向檢測(cè)單元檢測(cè)到的方向信息、所述拍攝元件的視角以及所述布局信息,來(lái)確定所述拍攝元件所朝向的所述制造設(shè)備,
從所述存儲(chǔ)單元提取確定出的所述制造設(shè)備的制造設(shè)備信息,
在所述顯示單元顯示提取出的所述制造設(shè)備信息的至少一部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,其特征在于,
所述移動(dòng)終端將拍攝到的圖像、通過(guò)所述位置信息獲取單元獲取到的位置信息、通過(guò)所述方向檢測(cè)單元檢測(cè)到的方向信息發(fā)送至所述服務(wù)器,并能夠更新所述制造設(shè)備信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,其特征在于,
所述移動(dòng)終端通過(guò)選擇顯示模式,能夠預(yù)先設(shè)定在所述顯示單元顯示的所述制造設(shè)備信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,其特征在于,
所述制造設(shè)備信息包含與格柵的開(kāi)口部有關(guān)的信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,其特征在于,
所述制造設(shè)備信息包含與所述制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)率的推移有關(guān)的信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,其特征在于,
所述制造設(shè)備信息包含與所述制造裝置的操作手冊(cè)有關(guān)的信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,其特征在于,
所述制造設(shè)備信息包含與搬運(yùn)系統(tǒng)中的搬運(yùn)臂的位置有關(guān)的信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,其特征在于,
所述移動(dòng)終端根據(jù)所述制造設(shè)備的識(shí)別信息和所述布局信息來(lái)檢測(cè)該移動(dòng)終端的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,其特征在于,
所述移動(dòng)終端在利用所述拍攝元件拍攝了所述制造設(shè)備時(shí),能夠從所述服務(wù)器獲取拍攝到的所述制造設(shè)備的內(nèi)部的圖像或者拍攝到的所述制造設(shè)備的后方的圖像并顯示。
10.一種制造設(shè)備的監(jiān)視裝置,通過(guò)服務(wù)器和能夠與該服務(wù)器通信的移動(dòng)終端來(lái)監(jiān)視配設(shè)在工廠內(nèi)的制造設(shè)備,所述制造設(shè)備的監(jiān)視裝置的特征在于,
所述移動(dòng)終端具有:
位置信息獲取單元,其獲取與該移動(dòng)終端的當(dāng)前的位置有關(guān)的位置信息;
獲取所述制造設(shè)備的布局信息的單元;
拍攝元件;
方向檢測(cè)單元,其檢測(cè)所述拍攝元件所朝向的方向;以及
顯示單元,
所述服務(wù)器具有存儲(chǔ)單元,該存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)與所述工廠內(nèi)的所述制造設(shè)備有關(guān)的制造設(shè)備信息,
在所述拍攝元件朝向所述制造設(shè)備時(shí),所述服務(wù)器基于通過(guò)所述位置信息獲取單元獲取到的位置信息、通過(guò)所述方向檢測(cè)單元檢測(cè)到的方向信息、所述拍攝元件的視角以及所述布局信息,來(lái)確定所述拍攝元件所朝向的所述制造設(shè)備,
從所述存儲(chǔ)單元提取確定出的所述制造設(shè)備的制造設(shè)備信息,
在所述顯示單元顯示提取出的所述制造設(shè)備信息的至少一部分。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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