[發明專利]復合氧化物薄膜制造用組合物和使用該組合物的薄膜的制造方法、以及復合氧化物薄膜

有效

• 申請號: 201380021829.3
• 申請日: 2013-04-22
• 公開（公告）號: CN104254495B
• 公開（公告）日: 2017-03-29
• 發明（設計）人: 竹元裕仁;羽賀健一;稻葉孝一郎;豐田浩司;德留功一;吉野賢二;小島稔
• 申請（專利權）人: 東曹精細化工株式會社
• 主分類號: C01G19/00
• 分類號: C01G19/00;C01G25/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 高旭軼,劉力

1.一種復合氧化物制造用組合物，其含有選自鋅元素和3B族元素中的至少一種元素，以及選自4A族元素和4B族元素中的至少一種元素，

其中，所述組合物含有選自含鋅元素的化合物和含3B族元素的化合物中的至少一種化合物、所述化合物的通過水得到的部分水解物或所述化合物與所述部分水解物，以及選自含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物中的至少一種化合物、所述化合物的通過水得到的部分水解物或所述化合物與所述部分水解物。

2.如權利要求1所述的組合物，其中，所述含鋅元素的化合物是由下述通式（1）表示的有機鋅化合物,

R¹－Zn－R¹?????（1）

式中，R¹是碳數為1～7的直鏈或分支的烷基。

3.如權利要求2所述的組合物，其中，所述有機鋅化合物的通過水得到的部分水解物是將通式（1）表示的有機鋅化合物與水以摩爾比為0.05～0.8范圍的方式進行混合，至少使所述有機鋅化合物部分水解而得到的產物。

4.如權利要求1～3中任一項所述的組合物，其中，所述含3B族元素的化合物是由下述通式（2）表示的3B族元素化合物,

式中，M為3B族元素，R²、R³、R⁴獨立地為氫、碳數為1～7的直鏈或分支的烷基，L為含有氮、氧或磷的配位性有機化合物，n為0～9的整數。

5.如權利要求4所述的組合物，其中，所述3B族元素化合物的通過水得到的部分水解物是將通式（2）表示的3B族化合物與水以摩爾比為0.05～0.8范圍的方式進行混合，至少使所述3B族化合物部分水解而得到的產物。

6.如權利要求1～5中任一項所述的組合物，其中，所述含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物是由下述通式（3）或（4）表示的4A族元素化合物和4B族元素化合物,

式中，M為4A族元素或4B族元素，R⁵、R⁶、R⁷、R⁸獨立地為氫、碳數為1～7的直鏈或分支的烷基、碳數為1～7的直鏈或分支的烷氧基、酰氧基、乙酰丙酮基、酰胺基，L為含有氮、氧或磷的配位性有機化合物，n為0～9的整數,

M_cX_d?aH₂O??????（4）

式中，M為4A族元素或4B族元素，X為鹵原子、硝酸或硫酸，當X為鹵原子或硝酸時，c為1，d為3，當X為硫酸時，c為2，d為3，a為0～9的整數。

7.如權利要求6所述的組合物，其中，所述4A族元素化合物和4B族元素化合物的通過水得到的部分水解物是將通式（3）或（4）表示的化合物與水以摩爾比為0.05～0.8范圍的方式進行混合，至少使所述4A族元素化合物和4B族元素化合物部分水解而得到的產物。

8.如權利要求1～7中任一項所述的組合物，其中，選自所述含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物中的至少一種化合物的通過水得到的部分水解物，以及選自含鋅元素的化合物和含3B族元素的化合物中的至少一種化合物的通過水得到的部分水解物，是向選自所述含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物中的至少一種化合物以及選自含鋅元素的化合物和含3B族元素的化合物中的至少一種化合物中添加相對于所述化合物合計的摩爾比為0.05～0.8范圍的水，使所述化合物部分水解而得到的產物。

9.如權利要求1～8中任一項所述的組合物，其中進一步含有有機溶劑。

10.如權利要求9所述的組合物，其中，所述有機溶劑包含給電子性溶劑、烴溶劑以及它們的混合物中的至少一種。

11.如權利要求9或10所述的組合物，其中，所述有機溶劑的沸點為230℃以下。

12.如權利要求10所述的組合物，其中，所述給電子性溶劑包含1,2－二乙氧基乙烷、四氫呋喃、二異丙醚、二噁烷，作為烴溶劑包含選自己烷、庚烷、辛烷、甲苯、二甲苯和環己烷中的至少一種。

13.如權利要求2～12中任一項所述的組合物，其中，所述有機鋅化合物為二乙基鋅。