[發明專利]壓印用樹脂模具材料組合物

有效

• 申請號: 201380019153.4
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN104220224B
• 公開（公告）日: 2016-11-09
• 發明（設計）人: 山下恒雄;森田正道;桑嶋佳子
• 申請（專利權）人: 大金工業株式會社
• 主分類號: B29C33/40
• 分類號: B29C33/40;B29C59/02;H01L21/027;B29K27/12;B29K33/04
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及一種壓印用樹脂模具材料組合物。進而，本發明涉及一種賦予優異的脫模性的壓印用樹脂模具材料組合物。本發明中所說的“樹脂模具材料”中也包括“樹脂復制模具材料”。

背景技術

近年來的IT技術的進步由微細化技術的進步支持。其中，模具壓印不需要照相平版術、電子束曝光中的投影曝光裝置等昂貴的裝置，作為可對應于高度微細化和量產化的要求的技術而被期待。

模具壓印(以后稱為“模具壓印”或“壓印”。)通過將具有凹凸的微細圖案表面的模具在硅、石英、樹脂基板上的UV等電磁波固化性樹脂(抗蝕劑)層按壓，轉印微細結構，照射UV光等將樹脂層固化，由此使轉印的微細結構固定化。樹脂層除直接用制作形品以外，還能夠通過在使模具脫模后，對轉印膜層利用氧等離子體進行灰化(ashing)處理，進而進行蝕刻處理，來得到形成有微細結構的圖案的硅半導體基板。

脫模的模具可重復使用。為了在脫模時不損傷轉印層的微細結構圖案，并且，也為了提高工業制造周期(縮短化)，要求來自模具的轉印層的脫模性高。為了提高脫模性，通常在模具表面涂布有機硅系脫模劑或氟系偶聯劑等。

另一方面，模具原型(也稱為“母模具”或“主模具”。)通常使用硅、石英制模具原型，但極其昂貴。因此，進行著代替硅、石英的樹脂制的模具(“樹脂模具”)及作為石英模具的復制物的樹脂制復制物(“樹脂復制模具”)的開發。

這里，樹脂復制模具是指通過將石英制模具原型(母模具)按壓在樹脂表面而得到的、具有母模具的表面微細結構(“母圖案”)的凹凸翻轉轉印得到的微細結構的復制物。若將該復制物作為模具(“樹脂復制模具”)使用，向其它的樹脂表面轉印，則能夠得到具有與母圖案相同的凹凸圖案的微細結構的模具(“樹脂模具”)。

即，成為(一)由硅、石英模具原型(母圖案)制造樹脂復制模具(相對于母圖案凹凸翻轉的圖案結構)、(二)由樹脂復制模具(凹凸翻轉圖案)制造樹脂模具(與母模具相同的凹凸圖案)這樣的關系。將這樣得到的樹脂模具作為壓印用模具使用，可構建經濟上有利的工業工藝。

在這些樹脂復制模具和樹脂模具的制造工序中，脫模性成為問題。即，為了在脫模時不損傷轉印層的微細結構圖案，并且，也為了提高工業制造周期，要求來自模具的轉印層的脫模性高。為了提高脫模性，目前已知在模具表面形成有機硅系脫模劑或氟系偶聯劑等脫模促進膜的方法。在以下進行例示：

(1)在日本特開2002-270541號公報中公開了一種具備含有氯甲硅烷化合物的表面處理層的壓印用模具，其中，氯甲硅烷化合物中具有含氟基。

(2)在日本專利第4111997號中公開了一種在浸透有硅油或包含氟的撥水劑的樹脂涂膜按壓模具而進行壓印的方法。

(3)在日本特開2009-184275號公報中公開了一種在模具和壓印的樹脂層之間夾置脫模劑的方法。

(4)在日本特開2010-045092號公報中公開了一種在按壓模具之前的抗蝕層上涂布脫模劑的方法。

(5)在日本特開2010-049745號公報中公開了一種形成有由含氟化合物構成的脫模膜的圖案形成層。

然而，涂布這些脫模劑等而形成脫模膜的方式，在將模具應用于壓印法的情況下，模具的耐久性不充分，在被轉印物的量產時，根據脫模性的惡化需要模具的清潔和脫模處理膜的再處理等，作為工業生產方法期待進一步的改良。

另一方面，也提出使樹脂模具自身脫模性優異的方法。例如，

(5)在日本特開2010-049745號公報中公開了一種在凹凸微細圖案形成層使用含氟樹脂的方法。例如，在同一公報的實施例5中，使用作為含氟樹脂的旭硝子制的NIF-A-1來形成圖案形成層。此時，由于脫模性提高，即使壓印次數為5000次以上，模具中也沒有產生缺陷，能夠延長量產時的模具的更換間隔。然而，在該發明中，由于僅以昂貴的含氟樹脂來形成圖案形成層，因此成本高，期待進一步的改良。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2002-270541號公報

專利文獻2：日本專利第4111997號

專利文獻3：日本特開2009-184275號公報

專利文獻4：日本特開2010-045092號公報

專利文獻5：日本特開2010-049745號公報

發明內容

發明所要解決的課題