[發(fā)明專利]壓印用樹脂模具材料組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380019153.4
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN104220224B
• 公開（公告）日: 2016-11-09
• 發(fā)明（設計）人: 山下恒雄;森田正道;桑嶋佳子
• 申請（專利權）人: 大金工業(yè)株式會社
• 主分類號: B29C33/40
• 分類號: B29C33/40;B29C59/02;H01L21/027;B29K27/12;B29K33/04
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種壓印用的樹脂模具材料組合物，其特征在于：

相對于能夠形成壓印用的模具樹脂或者復制模具樹脂的固化性樹脂或固化性單體100重量份，含有固化性的氟系聚合物(A)0.1～10重量份。

2.如權利要求1所述的材料組合物，其特征在于：

固化性的氟系聚合物(A)含有(a1)具有碳原子數4～6的氟烷基的α位取代丙烯酸酯作為重復單元且重均分子量為3,000～20,000，

其中，α位的取代基為氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、CFX¹X²基、氰基、碳原子數1～20的直鏈狀或支鏈狀的氟烷基、取代或非取代的芐基、取代或非取代的苯基、或者碳原子數1～20的直鏈狀或支鏈狀烷基，X¹和X²為氫原子、氟原子、氯原子、溴原子或碘原子。

3.如權利要求2所述的材料組合物，其特征在于：

固化性的氟系聚合物(A)為還含有(a2)均聚物狀態(tài)下的玻璃化轉變溫度或軟化點顯示為50℃以上的高軟化點單體5～120重量份作為重復單元、且重均分子量為3,000～20,000的氟系聚合物(A1)。

4.如權利要求3所述的材料組合物，其特征在于：

高軟化點單體(a2)為在均聚物的狀態(tài)下玻璃化轉變溫度或熔點為100℃以上的單體。

5.如權利要求3或4所述的材料組合物，其特征在于：

高軟化點單體(a2)為式：CH₂＝C(R¹)COOR²所示的(甲基)丙烯酸酯單體，

其中，R¹為H或CH₃，R²為碳原子數4～20且碳原子相對于氫原子的比例為0.58以上的飽和烷基。

6.如權利要求3～5中任一項所述的材料組合物，其特征在于：

高軟化點單體(a2)為含環(huán)式烴基的(甲基)丙烯酸酯和/或含SiO單體(a4)。

7.如權利要求6所述的材料組合物，其特征在于：

含SiO單體(a4)為有機硅(甲基)丙烯酸酯和/或含烷氧基硅烷基的(甲基)丙烯酸酯。

8.如權利要求3～7中任一項所述的材料組合物，其特征在于：

氟系聚合物(A1)的重復單元還包括(a3)含有環(huán)氧基(a3-1)和羥基(a3-2)中的任一種或兩者的含交聯基單體5～30重量份。

9.如權利要求8所述的材料組合物，其特征在于：

其是使不飽和有機酸與氟系聚合物(A1)的環(huán)氧基反應而成的。

10.如權利要求8所述的材料組合物，其特征在于：

其是使含異氰酸酯基的不飽和化合物與氟系聚合物(A1)的羥基反應而成的。

11.如權利要求3～10中任一項所述的材料組合物，其特征在于：

氟系聚合物(A1)的重復單元還包括(a3-1)含有環(huán)氧基的含交聯基單體5～30重量份和(a4)含SiO單體2～20重量份。

12.如權利要求1所述的材料組合物，其特征在于：

固化性的氟系聚合物(A)為含有(a1)具有碳原子數4～6的氟烷基的α位取代丙烯酸酯100重量份、(a3-1)含有環(huán)氧基的含交聯基單體5～60重量份和(a5)式：(R¹O)_nR²所示的含亞烷氧基單體10～40重量份作為重復單元、且重均分子量為3,000～20,000的氟系聚合物(A2)，

其中，α位的取代基為氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、CFX¹X²基、氰基、碳原子數1～20的直鏈狀或支鏈狀的氟烷基、取代或非取代的芐基、取代或非取代的苯基、或者碳原子數1～20的直鏈狀或支鏈狀烷基，X¹和X²為氫原子、氟原子、氯原子、溴原子或碘原子，R¹為-(CH₂)₂-或-(CH₂)₃-，R²為氫或甲基，n為1～10。