[發明專利]用于處理和用于運輸高純度和超高純度化學品的容器

無效

• 申請號: 201380016820.3
• 申請日: 2013-02-11
• 公開（公告）號: CN104185602A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: E.米;H.勞萊德爾;B.諾維茨基;H.克萊因
• 申請（專利權）人: 贏創德固賽有限公司
• 主分類號: B67D7/02
• 分類號: B67D7/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 楊國治;宣力偉

技術領域

本發明涉及特殊實施的空容器，用于容納高純度和超高純度對空氣和/或水分敏感的化學品，其具有用于連接、填充、清空以及清洗該空容器的單元，并且本發明還涉及其應用。

背景技術

例如，在微電子器件中使用的硅化合物在其純度上必須符合特別高的要求。尤其需要相應的硅化合物來制造高純度的借助外延由硅制成、或由氮化硅(SiN)、氧化硅(SiO)、氮氧化硅(SiON)、碳氧化硅(SiOC)或碳化硅(SiC)制成的薄層。在該應用領域中，原料化合物(Ausgangsverbindung)的在ppb至ppt范圍內的雜質就已經產生干擾，其可導致由此制造的層的性質的非期望改變。以所要求純度的所述化合物是電子、半導體工業、太陽能電池制造領域中以及在醫藥工業中渴望得到的原料化合物。

高純度或超高純度化學品尤其在半導體工業中使用，其中現階段已消耗了百噸規模的超高純度或“電子級(electronic?grade)”硅化合物和鍺化合物。這尤其是為了在Si晶片上制造外延硅層或為了在電子芯片上制造二氧化硅絕緣層所使用的三氯硅烷(Trichlorsilan)、四氯化硅(Siliciumtetrachlorid)或四乙氧基硅烷(Tetraethoxysilan)。

通常利用相對小的容器尺寸來工作，以便使例如在消耗時可能的雜質風險最小化。容器尺寸在過去基本上與后面的方法步驟相匹配，使得容器盡可能在該方法步驟中被清空。除此之外，通過這種處理方式可惜不總是能避免污染、例如由于通過多次打開和關閉容器可能形成的水解產物(Hydrolyseprodukte)所造成的污染。

因此，尤其還因為現今在相應生產步驟中所實現的提高的總產量，在進行的工藝內更換容器并且在重新填充容器時，高純度和超高純度化合物的產物污染的風險大大升高了。

然而，至今針對高純度或超高純度化學品的處理和運輸公知有例如從US?5,465,766、US?5,878,793、US?2002/0020449?A1、WO?00/79170?A1或?WO?2009/053134?A1中得知的容器(參照圖1)，這些容器雖然充其量擁有帶有兩個閥及用于交叉清洗(“cross-purge”)的一個閥和標準連接件(Anschluss)的清洗系統，但是在此不能保證，在關于重新填充的清洗過程之后，過去產物的殘留物(Reste)(隨后也稱沉積物(Neige))還殘留在容器中，并且因此可導致新的待處理的高純度和超高純度產物的大量雜質，盡管清洗過程的執行通常是本領域技術人員公知的或者是通過操作指南預先規定的。

發明內容

本發明的任務是，提供了另外一種系統，其以簡單和經濟的方式實現了使關于處理和運輸高純度和超高純度化學品的污染風險進一步最小化。

根據本發明，按照獨立權利要求的特征解決了該任務。此外，本發明的優選實施方式的特征自從屬權利要求得知。

因此，令人意想不到地發現，通過使用用于容納高純度和超高純度的對空氣和/或水分敏感的液體或可冷凝的(kondensierbar)化合物的如下空容器(1)(下文還簡稱為容器)導致再次填充空容器時雜質事件明顯最小化：所述空容器主要包括具有柱形殼體(3)的貯藏器和處于柱形殼體兩側的底部(4a)和上封閉件(4b、4b')、含有關斷/多路和清洗系統(5)和所分配的浸入管(7)的所分配的連接單元(2)，其中浸入管的下端部(7a)伸入到凹陷(4c)(凹腔)中，所述凹陷（4c）被置入或放入在底部(4a)中并且是底部的最深部位，和/或浸入管的下端部(7a)被斜切，并且被斜切的浸入管的頂端(7b)與底部(4a)的最深點接近直到小于2mm，優選地小于等于1mm，或其與被斜切的浸入管的頂端(7b)接觸。

根據本發明的容器有利地實現了：在清洗過程時殘留的沉積物的量再次明顯降低，或減少了直到無殘留地去除雜質為止的清洗過程的次數，并且因此也使關于重新填充的污染風險進一步最小化。

附加地，根據本發明的容器由于其機械和化學性質(如耐壓強度、貯藏器內側及和產物接觸的面的表面粗糙度、所使用的材料以及包括連接單元的空容器的密封性)而有利地以能夠容納高純度或超高純度的對空氣和/或水分敏感的液體或可冷凝的化合物為特征。

因此，通過使用根據本發明的空容器可以簡單和經濟的方式使處理高純度和超高純度化合物時由雜質引起的、例如在質量保證的范圍內確定的或通過客戶投訴而變得眾所周知的經濟損失再次明顯減少。