[發明專利]校正用掩模及校正方法

有效

• 申請號: 201380014388.4
• 申請日: 2013-03-13
• 公開（公告）號: CN104169802A
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 野村義昭;松本隆德;竹下琢郎
• 申請（專利權）人: 株式會社V技術
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F1/00
• 代理公司: 北京瑞盟知識產權代理有限公司 11300
• 代理人: 劉昕

技術領域

本發明涉及一種校正用掩模及校正方法，尤其是涉及一種用于測定在曝光裝置的曝光位置控制中使用的圖像傳感器的分辨率的校正用掩模及校正方法。

背景技術

現有技術中公知有如下所述液晶顯示裝置的濾色片等基板的曝光裝置，在使曝光用掩模接近該基板的狀態下，一邊使該基板和掩模相對地在一定方向上不斷移動，一邊利用曝光位置調整單元在與移動方向成直角的方向上對基板和曝光掩模的曝光位置進行調整，并對上述曝光掩模照射曝光光線，將曝光圖案轉印曝光在基板上，在該曝光用掩模上具有使上述基板正確曝光的曝光圖案。

另外，在專利文獻1中公開一種曝光裝置，在該曝光裝置中，所述曝光位置調整單元利用由多個受光元件構成的圖像傳感器(例如，線CCD(Charge?Coupled?Device?Image?Sensor)相機)，對預先形成在基板上的黑底(black?matrix)等作為基準的已有圖案，和掩模上的基準圖案同時進行圖像辨別，并對檢測出的掩模上的基準圖案相對于該已有圖案的距離的偏離進行修正控制。

專利文獻1：日本再公表專利WO2007/113933號公報

上述曝光裝置中，因線CCD(line?CCD)相機的分辨率，對所述修正的精度有所影響。該線CCD相機的分辨率除了因安裝在CCD相機的受光元件上的聚光透鏡的倍率以外，也會因所述掩模及所述基板和線CCD相機之間所成的角度，產生以下(參照圖6(B))誤差。

圖6是用于說明從上方觀察校正用掩模部35的圖像傳感器部25的位置和校正用掩模部35的特定部分的位置關系的示意圖，例如圖6(A)所示，校正用掩模部35以圖像傳感器部25為基準，設置平行遮蔽線的情況下，能夠正確測定分辨率。參照圖6(A)進行說明，并能夠通過式(1)計算出分辨率信息。

分辨率＝d/(P2-P1)??…式(1)

然而，如圖6(B)所示，校正用掩模部35以圖像傳感器部25為基準，以所規定的角度θ傾斜設置的情況下，雖然可如式(2)那樣計算出分辨率信息，但由于不能夠測定角度θ，從而不能夠計算出正確的分辨率信息。例如，產生如式(3)中所求得的分辨率誤差。

分辨率＝d/(P4-P3)??…式(2)

分辨率誤差＝(d-1)×cosθ/(P4-P3)??…式(3)

另一方面，線CCD相機的所述激光透鏡的倍率雖然能夠事先確認，但所述掩模及所述基板和線CCD相機之間所形成的角度很難實際測量，而需要事先進行確認線CCD相機的分辨率的操作，從而需要進行將曝光用掩模和基板安置在實際的曝光裝置上的準備操作。然而，由于基板呈現大型化，曝光掩模配列為多個，線CCD獨立對應各曝光掩模的每一個，因此使所述操作繁雜。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種，能夠容易測定所述曝光裝置中進行曝光位置調整的圖像傳感器分辨率的校正用掩模，以及使用該校正用掩模的對曝光裝置中所述圖像傳感器的分辨率進行測定的校正方法。

本發明的校正用掩模具有：掩模部，其具有用于取得圖像的圖像取得窗；玻璃面部，其位于所述掩模部的下方側，并由通過粘合層粘合在所述圖像取得窗附近的玻璃材料構成；遮蔽線組，其在所述圖像取得窗及所述玻璃面部上分別設置由遮蔽材料構成的遮蔽線。

“校正”是指，對調整曝光裝置的曝光位置用的圖像傳感器的分辨率相關的信息進行的校正。

本發明的校正用掩模，優選，在所述遮蔽線組中，使以橫向截斷所述圖像取得窗的方式配置在所述玻璃面部上的、由遮蔽材料構成的至少兩個以上的遮蔽線，和以橫向截斷所述圖像取得窗的方式配置在所述掩模部的下方側的表面的、由遮蔽材料構成的至少兩個以上的遮蔽線分別平行設置。本發明的校正用掩模，優選，在掩模部的表面上具有多個對準標志。

本發明的校正用掩模，優選，當配置在所述玻璃面部上的遮蔽線的數量為3個以上時，所述遮蔽線等間隔配置。本發明的校正用掩模，優選，當配置在所述掩模部的下方側的表面上的遮蔽線的數量為3個以上時，所述遮蔽線等間隔配置。

本發明的校正方法，用于測定曝光裝置的分辨率，所述校正方法是包括如下步驟，使光透過校正用掩模，其中該校正用掩模包括：具有用于取得圖像的圖像取得窗的掩模部，位于所述掩模部的下方側，并由通過粘合層粘合在所述圖像取得窗附近的玻璃材料構成的玻璃面部，和在所述圖像取得窗及所述玻璃面部上分別設置由遮蔽材料構成的遮蔽線的遮蔽線組；接受從除所述遮蔽線組以外的部分透過的光，并根據所接受的光的信息轉換為圖像信息；根據所述圖像信息測定分辨率信息。