[發(fā)明專利]加工工作臺用工裝件、加工工作臺用工裝件的制造方法及激光加工方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380012396.5 | 申請日： | 2013-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN104755220B | 公開（公告）日： | 2016-11-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 岡本恭平 | 申請（專利權(quán)）人： | 三菱電機株式會社 |
| 主分類號： | B23Q11/08 | 分類號： | B23Q11/08;B23K26/70;B23K26/382;B23K26/064;B23K26/082 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;張?zhí)焓?/td> |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 加工 工作臺 用工 制造 方法 激光 | ||
1.一種加工工作臺用工裝件，其特征在于，
該加工工作臺用工裝件通過在激光開孔加工時載置在加工工作臺上，并且，在上表面?zhèn)容d置被加工物，從而配置在所述被加工物的底表面?zhèn)龋?/p>
該加工工作臺用工裝件具有層疊部，該層疊部具有反射層，該反射層使照射至所述被加工物的激光束反射，
該層疊部是所述反射層以每層反射層可剝離的方式通過粘接層層疊為板狀而形成的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工工作臺用工裝件，其特征在于，
所述反射層是銅箔層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加工工作臺用工裝件，其特征在于，
在所述層疊部的下層側(cè)配置有比所述銅箔層厚的銅板。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加工工作臺用工裝件，其特征在于，
在所述層疊部的下層側(cè)配置有RCC或FR－4。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工工作臺用工裝件，其特征在于，
所述反射層是RCC或FR－4。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的加工工作臺用工裝件，其特征在于，
在所述層疊部中，設(shè)置有在真空吸附所述被加工物時使用的第1孔，
所述第1孔的配置位置，與在所述加工工作臺上設(shè)置并在真空吸附所述被加工物及所述層疊部時使用的第2孔的配置位置相同，或是隔著一部分的孔的位置。
7.一種加工工作臺用工裝件的制造方法，其特征在于，
該加工工作臺用工裝件的制造方法包含層疊步驟，在該步驟中，將對照射至被加工物的激光束進行反射的反射層以每層反射層可剝離的方式通過粘接層而層疊為板狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加工工作臺用工裝件的制造方法，其特征在于，
所述層疊步驟具有：
將所述反射層及粘接層堆疊的堆疊步驟；以及
將堆疊后的所述反射層及粘接層在堆疊方向上加壓的加壓步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的加工工作臺用工裝件的制造方法，其特征在于，
還具有開孔步驟，在該步驟中，對所述反射層進行開孔，其開孔位置，與在激光開孔加工時載置的加工工作臺上設(shè)置并在真空吸附所述被加工物及所述反射層時使用的孔的配置位置相同，或是隔著一部分孔的位置。
10.一種激光加工方法，其特征在于，包含：
第1載置步驟，在該步驟中，將加工工作臺用工裝件載置在加工工作臺上，該加工工作臺用工裝件是將反射層以每層反射層可剝離的方式通過粘接層層疊為板狀而形成的，該反射層對照射至被加工物的激光束進行反射；
第2載置步驟，在該步驟中，在所述加工工作臺用工裝件的上表面?zhèn)容d置被加工物；
激光加工步驟，在該步驟中，向所述被加工物照射激光束而對所述被加工物進行開孔加工；以及
剝離步驟，在該步驟中，在所述加工工作臺用工裝件損傷的情況或在所述加工工作臺用工裝件上堆積有加工屑的情況下，將所述加工工作臺用工裝件的最上層即反射層及粘接層剝離。
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