[發明專利]非接觸吸盤

有效

• 申請號: 201380010718.2
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN104137247A
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 藤平清隆
• 申請（專利權）人: 炭研軸封精工有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種非接觸吸盤，該非接觸吸盤以非接觸狀態吸附薄板狀的被吸附物，其特征在于，

該非接觸吸盤具備：

板狀的多孔盤，其在吸附固定區域形成有沿厚度方向貫通并延伸的多個通氣孔；

第1密閉空間，其以與上述多孔盤的背面相鄰接的方式配置；

第2密閉空間，其與上述第1密閉空間相隔離；以及

連通部件，其連通上述第2密閉空間和上述通氣孔。

2.根據權利要求1所述的非接觸吸盤，其特征在于，

該非接觸吸盤具備：

板狀的支架，其表面層疊于上述多孔盤的背面側，且具有凹部，在該凹部與該多孔盤的背面之間構成上述第1密閉空間；以及

基部，其層疊于上述支架的背面側，且在該基部與該支架的背面之間形成第2密閉空間，

上述支架具有作為上述連通部件發揮功能的連通孔，該連通孔的一端在上述層疊時連接于上述多孔盤的通氣孔，另一端在該支架的背面上開口。

3.根據權利要求2所述的非接觸吸盤，其特征在于，

上述支架具備多個島狀的突出部，該島狀的突出部具備在上述多個通氣孔的背面側開口端的位置處抵接于上述多孔盤的背面的平坦的頂部，

上述連通孔貫通上述突出部并延伸，

上述突出部之間的空間被作為上述第1密閉空間。

4.根據權利要求1所述的非接觸吸盤，其特征在于，

該非接觸吸盤具備板狀的支架，該板狀的支架層疊于上述多孔盤的背面側，具備與上述多孔盤的通氣孔相對應的貫通孔，

進而，該非接觸吸盤具備基部，該基部層疊于上述支架的背面側，在該基部與該支架的背面之間形成第2密閉空間，

在上述多孔盤的背面形成有凹部，在該凹部與上述支架之間構成上述第1密閉空間，

上述多孔盤的通氣孔連結于上述支架的貫通孔，作為上述連通部件發揮功能。

5.根據權利要求4所述的非接觸吸盤，其特征在于，

該非接觸吸盤具備框構件，該框構件具有配置于上述支架與上述基部之間的環狀部，

上述第2密閉空間由上述環狀部的內部空間形成。

6.根據權利要求4或5所述的非接觸吸盤，其特征在于，

在上述多孔盤的凹部具備多個島狀的突出部，該島狀的突出部具有抵接于上述支架的表面的平坦的頂部，

上述多孔盤的通氣孔貫通上述島狀的突出部。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的非接觸吸盤，其特征在于，

上述第1密閉空間為加壓空氣用空間部，

上述第2密閉空間為減壓用空間部。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的非接觸吸盤，其特征在于，

上述通氣孔以分散于上述多孔盤的表面整體的方式配置。

9.根據權利要求1～8中任一項所述的非接觸吸盤，其特征在于，

上述多孔盤由多孔碳形成。