[發(fā)明專利]光學(xué)裝置、光學(xué)測(cè)試臺(tái)及光學(xué)測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380005404.3
• 申請(qǐng)日: 2013-01-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104136902B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: E·皮特;V·派逖特;P·勒科克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 卡斯蒂安測(cè)試與服務(wù)公司
• 主分類號(hào): G01M11/04
• 分類號(hào): G01M11/04;G01J1/02;G02B15/16;G02B26/08;H04N17/00
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所11038
• 代理人: 郭思宇

1.一種光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述光學(xué)系統(tǒng)包括：

-稱為準(zhǔn)直光波(OL_col)的平面光波的生成裝置(106)，

-準(zhǔn)直光波偏置裝置(114)，用于提供稱為測(cè)試光波(OL_test)的光波，所述偏置裝置(114)呈現(xiàn)出可調(diào)節(jié)的焦距，和

-鏡(116)，被配置于待測(cè)試的單元(104)的一側(cè)，以接收一部分準(zhǔn)直光波(OL_col)，而不掩蔽待測(cè)試的單元(104)，

其中所述準(zhǔn)直光波(OL_col)的生成裝置(106)包括部分透明且呈現(xiàn)一定圖案的屏幕(110)，所述屏幕(110)被安置穿過(guò)源光波(OL_source)以遮掩一部分源光波和使稱為測(cè)試圖光波的另一部分源光波通過(guò)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述偏置裝置(114)的焦距是可調(diào)節(jié)的。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述偏置裝置(114)的焦距可調(diào)節(jié)到無(wú)窮大。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述焦距在從無(wú)窮大延伸到預(yù)定值的區(qū)間中是可調(diào)節(jié)的。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述預(yù)定值是負(fù)的。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述預(yù)定值是正的。

7.根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述偏置裝置包括：

-第一光學(xué)透鏡(202)，用于接收準(zhǔn)直光波(OL_col)且將其偏置，以提供被稱為中間光波(OL_int)的光波；

-第二光學(xué)透鏡(204)，用于接收所述中間光波(OL_int)且將其偏置，以提供測(cè)試光波(OL_test)；

-支撐兩個(gè)所述光學(xué)透鏡(202，204)的間隔裝置(206)，用于使得能夠調(diào)節(jié)兩個(gè)所述光學(xué)透鏡(202，204)之間的間隔(e)，所述偏置裝置(114)的焦距取決于該間隔(e)；

以及其中兩個(gè)所述光學(xué)透鏡(202，204)呈現(xiàn)有相反的焦距。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述第一光學(xué)透鏡(202)是發(fā)散的和所述第二光學(xué)透鏡(204)是會(huì)聚的。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中兩個(gè)所述光學(xué)透鏡(202，204)的焦距的絕對(duì)值之比不等于1。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)系統(tǒng)，兩個(gè)所述光學(xué)透鏡的材料相同。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)系統(tǒng)，所述第一光學(xué)透鏡(202)的焦距的絕對(duì)值與所述第二光學(xué)透鏡(204)的焦距的絕對(duì)值之比包含在0.992和0.995之間。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)系統(tǒng)，所述第一光學(xué)透鏡(202)的焦距的絕對(duì)值與所述第二光學(xué)透鏡(204)的焦距的絕對(duì)值之比為0.994。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述準(zhǔn)直光波(OL_col)的生成裝置(106)還包括：

-發(fā)射源光波(OL_source)的光源(108)；以及

-準(zhǔn)直儀(112)，被配置用于接收所述測(cè)試圖光波，并對(duì)所述測(cè)試圖光波進(jìn)行準(zhǔn)直以用于提供準(zhǔn)直光波(OL_col)。

14.一種光學(xué)測(cè)試臺(tái)，包括：

-根據(jù)權(quán)利要求1到13中任一項(xiàng)所述的光學(xué)系統(tǒng)(102)，

-稱為待測(cè)試的單元(104)的光學(xué)或光電監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用于接收測(cè)試光波(OL_test)和提供來(lái)自于測(cè)試光波(OL_test)的圖像，和

-信息處理裝置，用于對(duì)所述圖像實(shí)施一種或多種處理。