[實用新型]藍寶石襯底晶片的線切割裝置

有效

• 申請號: 201320893757.9
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN203945510U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 胡榮杰;唐旭;劉浦鋒;宋洪偉;陳猛
• 申請（專利權）人: 上海超硅半導體有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 金祺

技術領域

本實用新型涉及一種光電子信息技術領域，尤其涉及一種藍寶石襯底晶片的線切割裝置。?

背景技術

第三代半導體材料氮化鎵(GaN)基發光半導體(LED)具有響應速度快、壽命長、耐沖擊、抗震、高效節能等優異特性，具有廣闊的市場應用前景，在銀行、體育場、機場、車站以及室內外廣告牌等大屏幕動態顯示器中，它是最關鍵的器件之一。此外，GaN基藍、綠光LED還可以用于家電和信息數碼設備，如計算機和手機等的狀態顯示和背景照明等消費電子領域。其制作的白色固態光源體積小、重量輕、壽命長，掀起了照明領域新一輪的革命。?

為了使氮化鎵在藍寶石襯底上均勻生長，對藍寶石襯底的機械參數，包括厚度、彎曲度、翹曲度、表面平整度等等參數的要求都非常高。而在生產過程中，需要達成這一要求則離不開高精度、高效率的晶棒切割設備。?

傳統的線切割主軸裝置示意見下圖1，圖中件11的左邊設置有軸承，軸承外圈鎖緊在機臺上，件11的長斜度部分用于固定排列金剛切割線的圓筒。件12的右面同樣設置有軸承，然后固定于機臺支架上。件11和件12之間通過帶錐度的小定位孔定位，然后通過件13鎖緊。?

以上所述現有藍寶石襯底晶片的線切割裝置對零件的加工要求非常高，尤其是帶錐度的定位孔的同心度要求幾乎為零誤差，極大的增加了該結構在零件生產中的機械加工難度。而由于高精度的原因，在零件生產中，報廢率也一直維持著一種較高的比例，即推高了生產成本，更是使得維修十分的困難。而在生產中，這種高精度的零件十分容易出現精度的偏差，精度偏差之后，就需要新零件來替換維修，導致這種結構的維修率又十分的高。?

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種結構簡單的一種藍寶石襯底晶片的線切割主軸結構。?

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種藍寶石襯底晶片的線切割裝置，包括芯軸和外套；所述芯軸上套裝外套；所述芯軸的兩端分別設置有左軸承和右軸承。?

作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置的改進：所述的芯軸和外套之間通過鎖緊螺絲相互固定。?

作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置的進一步改進：所述芯軸和外套之間設置有傳動連接鍵。?

作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置的進一步改進：相對應于鎖緊螺絲，分別在芯軸和外套上設置有相應的凹槽。?

本實用新型的藍寶石襯底晶片的線切割裝置僅僅設置了一個獨立芯軸，在生產制造的時候，由于并不需要進行定位孔的同心度加工，所以在加工精度的要求上并不高，降低加工精度后，可以大大的減少本實用新型的藍寶石襯底晶片的線切割裝置生產過程中的報廢率；而通過對報廢率的控制，則可以減少該裝置生產過程中的成本。?

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細說明。?

圖1是現有結構示意圖；?

圖2是本實用新型的結構示意圖。?

具體實施方式

實施例1、圖2給出了一種藍寶石襯底晶片的線切割裝置，包括芯軸1和外套2；芯軸1和外套2之間設置有傳動連接鍵4；芯軸1和外套2之間通過鎖緊螺絲3相互固定。芯軸1的兩端分別設置有左軸承5和右軸承6。?

實際使用的時候，步驟如下：?

1、檢查芯軸1和外套2的機械加工質量，檢查機械加工質量主要通過芯軸1和外套2的同軸度進行判定，如芯軸1是否與外套2的內圓同心，外套2的內外圓是否同心，這些特性均可以通過百分表檢查；?

2、檢查完畢后，如果芯軸1和外套2的加工質量均符合使用要求的，就將外套2套裝在芯軸1上，并通過鎖緊螺絲3固定；?

3、對裝配好的芯軸1和外套2的同心度誤差進行檢測(百分表即可)，如果檢測結果為芯軸1和外套2的同心度誤差大于0.015mm，則替換新零件重新進行步驟1和步驟2；如果檢測的結果為芯軸1和外套2的同心度誤差小于等于0.015mm，則進行步驟4；?

4、將左軸承5和右軸承6分別固定到機臺以及機臺支架上，并通過相應的螺紋鎖緊；?

5、開機試運轉；通過目測觀察開機試運轉的時候，本實用新型有沒有出現問題(主要是指運轉是否平穩)；?

6、試運轉一切正常之后，將排列金剛切割線的圓筒固定在外套2上，進行正式的運轉。?