[實用新型]藍寶石襯底晶片的線切割裝置有效
| 申請號: | 201320893757.9 | 申請日: | 2013-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN203945510U | 公開(公告)日: | 2014-11-19 |
| 發明(設計)人: | 胡榮杰;唐旭;劉浦鋒;宋洪偉;陳猛 | 申請(專利權)人: | 上海超硅半導體有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 杭州中成專利事務所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
| 地址: | 201617 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 藍寶石 襯底 晶片 切割 裝置 | ||
1.藍寶石襯底晶片的線切割裝置,其特征是:包括芯軸(1)和外套(2);?
所述芯軸(1)上套裝外套(2);?
所述芯軸(1)的兩端分別設置有左軸承(5)和右軸承(6)。?
2.根據權利要求1所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置,其特征是:所述的芯軸(1)和外套(2)之間通過鎖緊螺絲(3)相互固定。?
3.根據權利要求2所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置,其特征是:所述芯軸(1)和外套(2)之間設置有傳動連接鍵(4)。?
4.根據權利要求3所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置,其特征是:相對應于鎖緊螺絲(3),分別在芯軸(1)和外套(2)上設置有相應的凹槽。?
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