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[實用新型]藍寶石襯底晶片的線切割裝置有效

專利信息
申請號: 201320893757.9 申請日: 2013-12-31
公開(公告)號: CN203945510U 公開(公告)日: 2014-11-19
發明(設計)人: 胡榮杰;唐旭;劉浦鋒;宋洪偉;陳猛 申請(專利權)人: 上海超硅半導體有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04
代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212 代理人: 金祺
地址: 201617 浙江省杭*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 藍寶石 襯底 晶片 切割 裝置
【權利要求書】:

1.藍寶石襯底晶片的線切割裝置,其特征是:包括芯軸(1)和外套(2);?

所述芯軸(1)上套裝外套(2);?

所述芯軸(1)的兩端分別設置有左軸承(5)和右軸承(6)。?

2.根據權利要求1所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置,其特征是:所述的芯軸(1)和外套(2)之間通過鎖緊螺絲(3)相互固定。?

3.根據權利要求2所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置,其特征是:所述芯軸(1)和外套(2)之間設置有傳動連接鍵(4)。?

4.根據權利要求3所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置,其特征是:相對應于鎖緊螺絲(3),分別在芯軸(1)和外套(2)上設置有相應的凹槽。?

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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