[實(shí)用新型]用于曝光機(jī)的對位曬架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320890618.0
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN203689009U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李炬;佘瑞峰;肖麗;彭永杰;李輝;王金鵬;李松凌
• 申請（專利權(quán)）人: 四川聚能核技術(shù)工程有限公司
• 主分類號(hào): G03F9/00
• 分類號(hào): G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 吳開磊

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)領(lǐng)域，具體而言，涉及用于曝光機(jī)的對位曬架。?

背景技術(shù)

印制電路板（PCB板）制造工藝中，最關(guān)鍵的工序之一就是將底片圖像轉(zhuǎn)移到基材上。先在基板上涂覆一層感光材料（如液態(tài)感光膠、光敏抗蝕干膜等），然后對涂覆在基材上的感光材料進(jìn)行光輻射，使其溶解性發(fā)生變化。未感光部分的樹脂沒有聚合，在顯影液作用下溶解，感光部分的感光材料發(fā)生聚合反應(yīng)固化在基材上形成圖像，這一工藝過程即是曝光，也就是印制電路板生產(chǎn)中由曝光機(jī)完成的工序。?

現(xiàn)有的曝光機(jī)包括兩個(gè)曬架，即在曝光過程中，先將一張底片與PCB板對位進(jìn)行曝光，然后將單面曝光后的PCB板翻轉(zhuǎn)后再與另一張底片對位曝光。PCB板與兩張底片分別進(jìn)行對位，而且還需要對PCB板翻轉(zhuǎn)，生產(chǎn)效益低。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供用于曝光機(jī)的對位曬架，以解決上述的問題。?

在本實(shí)用新型的實(shí)施例中提供了一種用于曝光機(jī)的對位曬架，包括底座、底片移動(dòng)板、上蓋和PCB移動(dòng)板；PCB移動(dòng)板、底片移動(dòng)板及上蓋從下至上依次設(shè)置在底座上；底片移動(dòng)板上安裝有下玻?璃，下玻璃上加工有真空吸附槽，下底片通過真空吸附在下玻璃上面；底片移動(dòng)板下部安裝了三個(gè)固定軸，大伺服系統(tǒng)推動(dòng)固定軸帶動(dòng)下底片移動(dòng)，使下底片與上蓋的上底片對位；PCB移動(dòng)板設(shè)置有三個(gè)固定軸，小伺服系統(tǒng)推動(dòng)該固定軸來驅(qū)動(dòng)PCB板與上底片或下底片對位。?

優(yōu)選地，上底片通過真空吸附在上蓋的上玻璃下面。?

進(jìn)一步，該對位曬架還包括升降裝置；升降裝置驅(qū)動(dòng)上蓋上下移動(dòng)。?

進(jìn)一步，該對位曬架還包括升降裝置；升降裝置為四個(gè)氣缸；四個(gè)氣缸分別位于上蓋的四角。?

優(yōu)選地，底座上設(shè)置有兩個(gè)定位銷；兩個(gè)定位銷與上蓋的兩個(gè)定位銷孔一一配合。?

進(jìn)一步，該對位曬架還包括CCD照明燈；CCD照明燈位于上蓋的上部且朝向下方。?

進(jìn)一步，該對位曬架還包括兩塊擋光快門；兩塊擋光快門分別位于底座的兩側(cè)。?

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于曝光機(jī)的對位曬架，與現(xiàn)有技術(shù)中相比，該對位曬架通過大伺服系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)下底片與上蓋的上底片對位，而且通過小伺服系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)PCB板與上底片對位，從而實(shí)現(xiàn)PCB板的兩面與上底片和下底片對位，而且在工作過程中，能夠?qū)ι舷碌灼瑢ξ怀钭詣?dòng)修復(fù)。在對位的過程中，PCB板無需翻轉(zhuǎn)，對位精度高，生產(chǎn)效益高。?

附圖說明

圖1示出了本實(shí)用新型實(shí)施例的用于曝光機(jī)的對位曬架的結(jié)構(gòu)圖。?

具體實(shí)施方式

下面通過具體的實(shí)施例子并結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。?

如圖1所示為本實(shí)施例提供的一種用于曝光機(jī)的對位曬架，包括底座401、底片移動(dòng)板、上蓋402和PCB移動(dòng)板；PCB移動(dòng)板、底片移動(dòng)板及上蓋402從下至上依次設(shè)置在底座上；底片移動(dòng)板上安裝有下玻璃，下玻璃上加工有真空吸附槽，下底片通過真空吸附在下玻璃上面。底片移動(dòng)板下部安裝了三個(gè)固定軸，大伺服系統(tǒng)推動(dòng)固定軸帶動(dòng)下底片移動(dòng)，與上底片對位。PCB移動(dòng)板設(shè)置有三個(gè)固定軸，小伺服系統(tǒng)推動(dòng)固定軸來驅(qū)動(dòng)PCB與上底片或下底片對位。?

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于曝光機(jī)的對位曬架，與現(xiàn)有技術(shù)中相比，該對位曬架通過大伺服系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)下底片與上蓋的上底片對位，而且通過小伺服系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)PCB板與上底片對位，從而實(shí)現(xiàn)PCB板的兩面與上底片和下底片對位，而且在工作過程中，能夠?qū)ι舷碌灼瑢ξ怀钭詣?dòng)修復(fù)。在對位的過程中，PCB板無需翻轉(zhuǎn)，對位精度高，生產(chǎn)效益高。?

進(jìn)一步，該對位曬架還包括升降裝置404；升降裝置404驅(qū)動(dòng)上蓋402上下移動(dòng)。使上蓋與底座間有足夠空間，進(jìn)出板裝置才能完成PCB的裝卸。優(yōu)選地，升降裝置為四個(gè)氣缸；四個(gè)氣缸分別位于上蓋的四角。四個(gè)氣缸同時(shí)驅(qū)動(dòng)上蓋，可以提高上蓋在上升或下降過程中的穩(wěn)定性，避免上蓋在上下移動(dòng)過程中不穩(wěn)而影響生產(chǎn)進(jìn)度。?

其中，上蓋的下面安裝了上玻璃，上玻璃上加工有真空吸附槽，上底片通過真空吸附在上玻璃下面。上蓋做上下運(yùn)動(dòng)。另外，為了?限定上底片與下底片之間的位置，避免上底片與下底片之間的相對位置在曝光過程中發(fā)生變動(dòng)，從而影響曝光的效果。?

優(yōu)選地，曬架上安裝了兩個(gè)定位銷；底座安裝定位銷，上蓋安裝銷套，兩個(gè)所述定位銷與所述上蓋的兩個(gè)定位銷孔一一配合，保證曬架工作過程中，上下底片的位置精度。?

該對位曬架在上蓋上部安裝了兩組CCD照明燈；CCD照明燈位于上蓋的上部且朝向下方，該CCD照明燈被CCD移動(dòng)部件的控制驅(qū)動(dòng)，與CCD傳感器的移動(dòng)同步。?