[實用新型]一種蝕刻搖擺軸的密封結構

有效

• 申請號: 201320888709.0
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN203784292U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 陳德和
• 申請（專利權）人: 宇宙電路板設備（深圳）有限公司
• 主分類號: F16J15/16
• 分類號: F16J15/16;H05K3/06;C23F1/08
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

技術領域

本實用新型涉及蝕刻顯影設備中密封結構的技術領域，尤其涉及一種蝕刻搖擺軸的密封結構。

背景技術

蝕刻(etching)是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet?etching)和干蝕刻(dry?etching)兩類。通常所指蝕刻也稱光化學蝕刻（photochemical?etching），指通過曝光制版、顯影后，將要蝕刻區域的保護膜去除，在蝕刻時接觸化學溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。

常規的印制電路板（PCB）、不銹鋼的蝕刻顯影設備中，參照圖1和圖2，搖擺軸23＇與機殼1＇的配合位裝設有油封6＇的密封套組3＇，即第一密封套31＇和第二密封套32＇，當設備運行一段時間后，由于搖擺軸23＇的不斷旋轉摩擦，兩處密封套的油封會被磨損破壞而導致密封失效；機殼1＇內部的蝕刻藥水與基板發生化學反應時會導致藥水升溫，進而部分蝕刻藥水會蒸發成藥水蒸汽，這些藥水蒸汽會透過密封失效的密封套組3＇向外溢出，由于蝕刻藥水本身的特性因素，當藥水蒸汽與室外空氣接觸后容易結晶，造成第二密封套32＇外面出現結晶，而該結晶具有一定的硬度，當設備繼續運行時，搖擺軸23＇不斷地與結晶摩擦，這樣，容易造成搖擺軸23＇等結構的磨損，進而嚴重影響了設備的性能，以及使用壽命，同時，藥水蒸汽的溢出會導致藥水浪費，從而增加了生產成本，另外，第二密封套32＇外面出現結晶還影響了設備整體外觀的整潔度。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種蝕刻搖擺軸的密封結構，旨在解決現有技術中，常規的蝕刻搖擺軸的密封結構所存在的如下缺陷：

容易因密封失效導致設備內部的藥水蒸汽外溢而結晶，進而導致設備磨損，藥水浪費，不僅影響了設備性能和使用壽命，還影響了設備的整潔度。

本實用新型是這樣實現的，一種蝕刻搖擺軸的密封結構，用于蝕刻機或者顯影機，包括密閉的機殼，以及由所述機殼的外部伸入其內部的搖擺軸，于所述搖擺軸與所述機殼的配合位、且于所述搖擺軸上密封套設有密封套組，于所述機殼內、且于所述搖擺軸上套設有套管，所述套管的上端插入所述密封套組中，且所述套管的下端與所述搖擺軸密封。

進一步地，所述搖擺軸上套設有軸套，并通過所述軸套與所述機殼隔離，且所述軸套的邊緣與所述機殼密封。

優選地，所述密封套組包括分別設置于所述機殼內、外的第一密封套和第二密封套，且所述第一密封套和第二密封套分別置于所述軸套的下端和上端。

優選地，所述第一密封套和所述第二密封套分別與所述搖擺軸通過油封形成密封。

優選地，于所述機殼內、且于所述搖擺軸上密封套設有第三密封套，所述套管的下端插設于所述第三密封套內，且所述套管的上端插入所述第一密封套內。

進一步地，所述第三密封套與所述搖擺軸通過油封形成密封。

更進一步地，所述第一密封套、所述軸套以及所述第二密封套通過緊固件形成緊固連接。

優選地，所述套管的內壁與所述搖擺軸的外壁之間形成有間隙。

與現有技術相比，本實用新型提出的蝕刻搖擺軸的密封結構，通過在搖擺軸與機殼的配合位設置密封套組，并在搖擺軸位于機殼內的部分段上套設與其密封的套管，從而形成了氣體緩沖區，避免了因密封失效導致藥水蒸汽外溢產生結晶的現象，不僅提高了設備性能，延長了使用壽命，還節約了藥水，降低了成本，提高了整潔度。

附圖說明

圖1為現有技術中實施例提供的蝕刻搖擺軸的密封結構在應用狀態下的局部結構剖面示意圖；

圖2為圖1中A部分的放大示意圖；

圖3為本實用新型實施例提供的蝕刻搖擺軸的密封結構在應用狀態下的局部結構剖面示意圖；

圖4為圖3中B部分的放大示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

以下結合具體實施例對本實用新型的實現進行詳細的描述。

如圖3、圖4所示，為本實用新型提供的一個較佳實施例。