[實用新型]一種蝕刻搖擺軸的密封結構

有效

• 申請號: 201320888709.0
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN203784292U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 陳德和
• 申請（專利權）人: 宇宙電路板設備（深圳）有限公司
• 主分類號: F16J15/16
• 分類號: F16J15/16;H05K3/06;C23F1/08
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種蝕刻搖擺軸的密封結構，用于蝕刻機或者顯影機，包括密閉的機殼，以及由所述機殼的外部伸入其內部的搖擺軸，于所述搖擺軸與所述機殼的配合位、且于所述搖擺軸上密封套設有密封套組，其特征在于，于所述機殼內、且于所述搖擺軸上套設有套管，所述套管的上端插入所述密封套組中，且所述套管的下端與所述搖擺軸密封。?

2.如權利要求1所述的蝕刻搖擺軸的密封結構，其特征在于，所述搖擺軸上套設有軸套，并通過所述軸套與所述機殼隔離，且所述軸套的邊緣與所述機殼密封。?

3.如權利要求2所述的蝕刻搖擺軸的密封結構，其特征在于，所述密封套組包括分別設置于所述機殼內、外的第一密封套和第二密封套，且所述第一密封套和第二密封套分別置于所述軸套的下端和上端。?

4.如權利要求3所述的蝕刻搖擺軸的密封結構，其特征在于，所述第一密封套和所述第二密封套分別與所述搖擺軸通過油封形成密封。?

5.如權利要求4所述的蝕刻搖擺軸的密封結構，其特征在于，于所述機殼內、且于所述搖擺軸上密封套設有第三密封套，所述套管的下端插設于所述第三密封套內，且所述套管的上端插入所述第一密封套內。?

6.如權利要求5所述的蝕刻搖擺軸的密封結構，其特征在于，所述第三密封套與所述搖擺軸通過油封形成密封。?

7.如權利要求3～6任一項所述的蝕刻搖擺軸的密封結構，其特征在于，所述第一密封套、所述軸套以及所述第二密封套通過緊固件形成緊固連接。?

8.如權利要求7所述的蝕刻搖擺軸的密封結構，其特征在于，所述套管的內壁與所述搖擺軸的外壁之間形成有間隙。?