[實用新型]一種用于擴晶機的壓膜裝置有效

申請號：	201320885695.7	申請日：	2013-12-31
公開（公告）號：	CN203707164U	公開（公告）日：	2014-07-09
發明（設計）人：	張智聰	申請（專利權）人：	江西省晶瑞光電有限公司
主分類號：	H01L33/00	分類號：	H01L33/00
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	330096 江西省南昌市***	國省代碼：	江西;36
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于擴晶機裝置
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【權利要求書】：

1.一種用于擴晶機的壓膜裝置，包括上壓板、下壓板、上圓盤和下圓盤，上壓板與下壓板在相互對應的位置處各自有一圓形窗口，且上壓板設置于下壓板的上方，上壓板與下壓板的一邊通過活動鉸鏈連接，下圓盤設置于上壓板及下壓板的圓形窗口內,并置于上推桿頂端，上圓盤設置于下圓盤的上方，并與下推桿頂端相連，其特征在于：下壓板上設有帶真空吸孔的斜面。

2.根據權利要求1所述的一種用于擴晶機的壓膜裝置，其特征在于：所述斜面頂端與圓形窗口邊緣的水平垂直距離為1cm-2cm。

3.根據權利要求1所述的一種用于擴晶機的壓膜裝置，其特征在于：所述所述斜面的傾斜角為30°-60°。

4.根據權利要求1所述的一種用于擴晶機的壓膜裝置，其特征在于：所述所述斜面的寬度為圓形窗口直徑的1/2-1。

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