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[實用新型]蝕刻液循環處理裝置有效

專利信息
申請號: 201320885229.9 申請日: 2013-12-31
公開(公告)號: CN203639560U 公開(公告)日: 2014-06-11
發明(設計)人: 周小兵 申請(專利權)人: 遂寧市廣天電子有限公司
主分類號: C23F1/46 分類號: C23F1/46;C25C1/12
代理公司: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218 代理人: 袁英
地址: 629000 四川省遂寧*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 蝕刻 循環 處理 裝置
【權利要求書】:

1.蝕刻液循環處理裝置,其特征在于:它包括蝕刻臺、蝕刻缸、沉淀池、廢液儲缸、電解池、再生混合池和微控制器,蝕刻缸的出口通過管道與沉淀池的入口相連;所述沉淀池為斜流式沉淀池,沉淀池內設有三個沉淀分池,第一級沉淀分池的出口與第二級沉淀分池的入口相連,第二級沉淀分池的出口與第三級沉淀分池的入口相連,每個沉淀分池的出口處均設有過濾網;沉淀池的出口通過管道與廢液儲缸的入口相連,廢液儲缸的出口通過管道與電解池的入口相連;所述的電解池中間設有將電解池分為陰極區和陽極區的電解隔膜,陰極區內設有負電極,陽極區內設有正電極;電解池內的正電極和負電極還與微控制器相連,電解池的出口通過過濾網和射流器與再生混合池相連,再生混合池的出口通過管道與蝕刻缸的入口相連;再生混合池、廢液儲缸、沉淀池、電解池和蝕刻缸內均設有數據采集單元,所述數據采集單元包括液面高度傳感器、濃度檢測器、溫度傳感器和PH值檢測器,液面高度傳感器、濃度檢測器、溫度傳感器和PH值檢測器分別通過總線與微控制器相連。

2.根據權利要求1所述的蝕刻液循環處理裝置,其特征在于:它還包括有溢流槽,溢流槽的入口通過除渣泵與蝕刻缸相連,溢流槽的出口通過管道與電解池的入口相連。

3.根據權利要求1所述的蝕刻液循環處理裝置,其特征在于:它還包括有顯示屏,顯示屏通過總線與微控制器相連。

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