[實(shí)用新型]用于晶體片鍍膜的真空鍍膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320873393.8
• 申請(qǐng)日: 2013-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN203653684U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭軍平;溫海;竇會(huì)會(huì);候應(yīng)彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陜西華星電子集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 連云港潤知專利代理事務(wù)所 32255
• 代理人: 劉喜蓮

1.一種用于晶體片鍍膜的真空鍍膜機(jī)，包括設(shè)在工作臺(tái)上的底盤，在底盤上罩有罩蓋，罩蓋與設(shè)在工作臺(tái)上的提升裝置相連，罩蓋內(nèi)形成真空腔室，在底盤的下方設(shè)有與真空腔室相連的抽真空機(jī)組，其特征在于：在真空腔室內(nèi)設(shè)有工件轉(zhuǎn)架機(jī)構(gòu)，工件轉(zhuǎn)架機(jī)構(gòu)的頂部設(shè)有晶體片鍍膜工位，在晶體片鍍膜工位周邊的工件轉(zhuǎn)架機(jī)構(gòu)上設(shè)有晶體片夾具，在工件轉(zhuǎn)架機(jī)構(gòu)內(nèi)的底盤上方設(shè)有與晶體片鍍膜工位配合的蒸鍍機(jī)構(gòu)，所述的蒸鍍機(jī)構(gòu)包括并排設(shè)置的至少一個(gè)蒸發(fā)鉬舟，蒸發(fā)鉬舟通過蒸發(fā)夾具固定在底盤上，蒸發(fā)鉬舟包括固定在蒸發(fā)夾具上的兩個(gè)連接鉬桿，在兩個(gè)連接鉬桿之間設(shè)有水平設(shè)置的活動(dòng)鉬舟。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體片鍍膜的真空鍍膜機(jī)，其特征在于：所述連接鉬桿的端部設(shè)有橫向設(shè)置的插槽，活動(dòng)鉬舟的兩側(cè)插在插槽中。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體片鍍膜的真空鍍膜機(jī)，其特征在于：在蒸發(fā)鉬舟下方的底盤上設(shè)有殘?jiān)占濉?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體片鍍膜的真空鍍膜機(jī)，其特征在于：在蒸發(fā)鉬舟與晶體片夾具之間設(shè)有旋轉(zhuǎn)擋板。