[實用新型]模塑互聯器件的制備裝置

有效

• 申請號: 201320871162.3
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN203617249U
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 王紅衛;沈文凱
• 申請（專利權）人: 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 孟宏偉

1.?模塑互聯器件的制備裝置，其特征在于，包括：注塑機，所述注塑機用于注塑形成模塑互聯器件的塑料殼體；

激光鐳雕機，所述激光鐳雕機利用激光將塑料殼體的表面描繪出電路圖形并且形成相應的線槽；

真空等離子體處理設備，所述真空等離子體處理設備用于將激光鐳雕后的塑料殼體表面線槽內部的粉塵和外濺到線槽外的污染物進行等離子體刻蝕和將吹洗后的塑料殼體表面進行等離子體活化；

吹洗設備，所述吹洗設備用于將刻蝕后的塑料殼體表面線槽內部的粉塵和外濺到線槽外的污染物進行吹洗；

涂鍍機，所述涂鍍機將活化后的塑料殼體表面的線槽金屬化。

2.?根據權利要求1所述的模塑互聯器件的制備裝置，其特征在于，所述真空等離子體處理設備包括反應腔室、高頻電源、物料托盤、氣源、負壓裝置和至少一對電極組件，每對電極組件包括兩個平行設置于反應腔室內的平板電極，所述物料托盤平行設置于兩個平板電極之間，所述高頻電源的正負極分別與每對電極組件連接，所述氣源、負壓裝置分別與所述反應腔室連接。

3.?根據權利要求2所述的模塑互聯器件的制備裝置，其特征在于，所述每個平板電極上開設有若干貫穿平板電極的電極氣孔。

4.?根據權利要求3所述的模塑互聯器件的制備裝置，其特征在于，所述物料托盤上開設有若干貫穿物料托盤的托盤氣孔。

5.?根據權利要求4所述的模塑互聯器件的制備裝置，其特征在于，所述負壓裝置為真空泵或泵組。

6.?根據權利要求5所述的模塑互聯器件的制備裝置，其特征在于，所述高頻電源的頻率范圍為10Khz—100Khz或13.56MHz。