[實用新型]管式PECVD及其隔離保護裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320869143.7
• 申請日: 2013-12-26
• 公開（公告）號: CN203625465U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設計）人: 康淼;許明金;陳綿寶;譚錚;陳敬梨
• 申請（專利權）人: 海南英利新能源有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種隔離保護裝置，其特征在于，包括：

支架（4）；

用于設置于管式PECVD的碳化硅槳之間的隔離板（1）；

與所述支架（4）連接并支撐所述隔離板（1）的支撐架。

2.如權利要求1所述的隔離保護裝置，其特征在于，所述支撐架包括與所述支架（4）固定連接的固定部（3）及設置于所述隔離板（1）底部的緩沖支腳（2）。

3.如權利要求2所述的隔離保護裝置，其特征在于，所述緩沖支腳（2）包括支撐層及設置于所述支撐層與所述隔離板（1）之間的緩沖裝置（21）；

所述固定部（3）與所述支撐層連接。

4.如權利要求3所述的隔離保護裝置，其特征在于，所述緩沖裝置（21）為彈簧。

5.如權利要求2所述的隔離保護裝置，其特征在于，所述固定部（3）與所述支架（4）螺栓連接。

6.如權利要求1所述的隔離保護裝置，其特征在于，所述隔離板（1）為不銹鋼隔離板。

7.如權利要求1所述的隔離保護裝置，其特征在于，所述隔離板（1）為鏤空隔離板。

8.如權利要求7所述的隔離保護裝置，其特征在于，所述隔離板（1）的鏤空格為正方格，所述正方格的邊長為2.5cm-3.5cm。

9.如權利要求1所述的隔離保護裝置，其特征在于，所述隔離板（1）的數(shù)量為多個。

10.一種管式PECVD，包括碳化硅槳，其特征在于，還包括如權利要求1-9任一項所述的隔離保護裝置。