[實用新型]鍵合機用引線框架的定位板有效
| 申請號: | 201320858005.9 | 申請日: | 2013-12-24 |
| 公開(公告)號: | CN203631524U | 公開(公告)日: | 2014-06-04 |
| 發明(設計)人: | 季達 | 申請(專利權)人: | 南通華達微電子集團有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 226006 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 鍵合機用 引線 框架 定位 | ||
技術領域
?本實用新型涉及半導體工業中使用的鍵合機的引線框架定位板部件。
背景技術
半導體工業,尤其是集成電路中,經常使用到鍵合機。鍵合是在半導體芯片(第一焊點)和引線框架的精壓區(第二焊點)之間,采用引線(鋁線、銅線、金線或銀線等)進行焊接連接。為了不產生虛焊、提高焊點焊接強度,工藝上常用壓爪將載片臺(助壓區)和精壓區分別壓實鍵合軌道和引線框架的定位板上。全自動鋁線機采用多點壓針,壓實效果很好;但手動鋁線機由于焊頭不能旋轉,為防止焊頭運動時碰傷鋁線劈刀,第二焊點的精壓區不能采用多點壓針,而只能使用線狀接觸的壓爪。
傳統引線框架的定位板板面是平的,由于引線框架是沖壓法生產出來的,因此精壓區和引線不能保證絕對共面。當壓爪將引線框架壓實后,有的框架精壓區會上翹,導致精壓區和引線框架的定位板之間出現縫隙,影響焊接質量(如超聲焊接的功率傳輸不暢),使焊點出現虛焊。
申請專利號為200920076207.1?的文件公開了“夾具”,該實用新型所述夾具用于固定引線框架,所述夾具設置于引線鍵合設備上,所述引線鍵合設備包括一驅動裝置,所述夾具包括爪部以及連接部,所述爪部的形狀與所述引線框架的形狀匹配,所述連接部的一端與所述爪部連接,所述連接部的另一端與所述驅動裝置連接。本實用新型所提及的定位板是常用的平板形狀,用于鍵合焊接時,容易出現引線框架與引線之間焊點虛焊的現象。
發明內容
實用新型目的:克服傳統的鍵合機中定位板形狀過于簡單的問題,提供一種形狀特殊、能提高焊接質量的鍵合機用引線框架的定位板。
技術方案:本實用新型提供的鍵合機用引線框架的定位板,鍵合機上具有鍵合軌道,鍵合機兩側各具有一支線狀接觸的壓爪,引線框架具有助壓區(或稱左壓區,指被左壓爪按壓處)、載片區、精壓區、引線區。定位板的縱向剖面呈凹五邊形,凹五邊形由上邊、斜邊、右邊、底邊、左邊依次相連構成,其中上邊與底邊平行,上邊與斜邊形成了凹陷的鈍角。
即相當于定位板的上平面是凹陷的,精壓區和定位板底平面水平,引線區向后上翹。
本實用新型中,凹五邊形的上邊長度為3-5mm(優選3.5mm),底邊長度為16-20mm(優選18.5mm),左邊低于右邊0.6-1mm(優選0.75mm)。
使用時,該定位板放置于鍵合機的操作臺上、鍵合軌道旁邊,引線框架的精壓區和引線區位于定位板上方,助壓區和載片區位于鍵合軌道上方;載片區裝載芯片,左側的壓爪壓在助壓區,右側的壓爪壓在精壓區與引線區的連接處。由于定位板上有凹陷的鈍角,引線框架與定位板之間可形成深度為0.05-0.3mm的間隙。而該間隙的存在,使得右側的壓爪壓緊引線框架時,引線框架產生輕微變形,精壓區將緊貼凹五邊形的上邊,也即不會在精壓區與定位板之間出現縫隙,從而保證芯片、精壓區與待焊接的引線(鋁線、銅線、金線或銀線等)基本位于同一平面,便于引線與精壓區之間焊接連接。
有益效果:
本實用新型的定位板用于鍵合機中時,精壓區與定位板之間緊密靠攏,引線與芯片或引線與引線框架之間的焊接質量得以較大幅度地提高,明顯降低因焊接區壓不實而導致的焊點虛焊的現象。
該定位板可配套應用于半導體封裝生產線中的手動鋁線鍵合機、半自動鋁線鍵合機和全自動TO封裝金/銅線機上,尤其適合鋁線鍵合機采取的超聲摩擦焊接方法使用。
附圖說明
圖1是本實用新型的一個俯視圖;
圖2是本實用新型一個放大的縱向(圖1中A-A向)剖面結構示意圖;
圖3是本實用新型在鍵合機中配套使用時的結構示意圖;
圖中,1、上邊;2、斜邊;3、左邊;4、右邊;5、底邊;6、凹陷的鈍角;7、鍵合軌道;8、左壓爪;9、右壓爪;10、定位板;11、引線框架;12、助壓區;13、載片區;14、精壓區;15、引線區;16、芯片。
具體實施方式
下面,結合附圖和實施例對本實用新型作更具體的說明。
實施例:
如附圖1、圖2中所示引線框架定位板,具有助壓區12、載片區13、精壓區14、引線區15,定位板的縱向剖面呈凹五邊形,凹五邊形由上邊1、斜邊2、右邊4、底邊5、左邊3依次相連構成,其中上邊1與底邊5平行,上邊1與斜邊2形成了凹陷的鈍角6。
所述的凹五邊形的上邊1長度為3.5mm,底邊5長度為18.5mm,左邊3低于右邊4約0.75mm。
如圖3所示,當用于引線框架定位時,由于定位板上有凹陷的鈍角6,引線框架與定位板之間可形成深度為0.2mm的間隙。該間隙的存在,使得右壓爪9壓緊引線框架時,引線框架產生輕微變形,精壓區14將緊貼凹五邊形的上邊1,從而保證芯片16、精壓區14與待焊接的鋁線引線基本位于同一平面,便于引線與精壓區14之間焊接連接。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





