[實用新型]一種磁控濺射鍍膜傘齒輪傳動旋轉端頭

有效

• 申請號: 201320857549.3
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN203926694U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 李征;張俊峰;魏慶瑄
• 申請（專利權）人: 上海子創鍍膜技術有限公司
• 主分類號: F16H57/02
• 分類號: F16H57/02;F16H57/023;F16H57/029;C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 上海百一領御專利代理事務所(普通合伙) 31243
• 代理人: 陳貞健

技術領域

本發明涉及到一種磁控濺射鍍膜傳動裝置,尤其涉及到一種磁控濺射鍍膜傘齒輪傳動旋轉端頭,屬于磁控濺射鍍膜領域。

背景技術

真空磁控濺射鍍膜是當今鍍膜工藝中鍍膜質量最好應用最為廣泛的一種工藝，在鍍膜中磁控濺射陰極尤為重要，目前普遍使用的是平面濺射陰極，由于平面濺射陰極只濺射固定的靶材區域，一定時間后會形成跑道狀濺射區域，會影響后期鍍膜的均勻性和穩定性。隨著高真空磁控鍍膜技術的不斷提高，濺射靶材能夠旋轉的濺射陰極被發明，現有技術下，操作人員由于經驗的不足和技術掌握的不夠全面，目前生產的旋轉濺射陰極驅動端頭存在結構復雜、更換靶材難、容易漏水漏氣等現象，維護次數頻繁，造成生產周期長，獲得的產品質量不穩定，產能效率低，使用成本高，不能滿足目前高質量濺射鍍膜工藝生產的要求。

中國專利公告號為CN201746585U的實用新型專利，公開了一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉陰極驅動裝置，其采用的技術方案為包括聚甲醛基座、驅動頭殼體、驅動軸、驅動齒輪、從動齒輪、軸套、輸入軸頭、磁芯軸、冷卻水 管接口、電刷接線柱、電刷裝置、靶材、前端蓋、后端蓋，其中，驅動齒輪為錐齒輪，設置在驅動軸下端，從動齒輪也為錐形齒輪，兩者通過錐齒輪傳動方式進行傳動。但沒有披露旋轉濺射陰極端頭具體的形狀，沒有解決旋轉濺射陰極端頭的靈活性和密封性的問題。

中國專利公告號為CN200610148263.2的實用新型專利，公開了一種防污染超高真空磁控濺射鍍膜裝置，包括外部驅動系統、微機控制系統、磁控濺射室、上蓋板、轉動軸、樣品 位、樣品臺、靶位、驅動電機、靶位檔板、靶位檔板驅動電機，濺射室內上蓋板上垂直安裝一個定位銷，樣品臺上層開設與定位銷配套的定位槽，樣品 臺下層安裝定位銷，上檔板上開設與定位銷相對應的定位槽，上檔板用螺釘連接轉動軸，上檔板上開設一個濺射孔，手動操作桿的齒輪與 上檔板邊緣的齒輪相嚙合，靶位上均安裝檔板，檔板連接驅動電機。該技術方案的缺陷是沒有解決旋轉濺射陰極端頭的靈活性和密封性。

發明內容

針對現有技術中存在旋轉濺射陰極端頭的靈活性和密封性不足的問題，半實用新型提供一種磁控濺射鍍膜傘齒輪傳動旋轉端頭。

為了達到上述的技術目的，本實用新型采用的技術方案是提供一種磁控濺射鍍膜傘齒輪傳動旋轉端頭，其包括殼體、固定在殼體上端的法蘭，固定在殼體下端的靶材連接裝置，其中，在殼體的一側上端設置有驅動十字軸裝置，所述驅動十字軸裝置包括驅動十字軸，所述驅動十字軸末端安裝有角接觸球軸承，頂端安裝有小傘齒輪，所述驅動十字軸裝置通過所述角接觸球軸承與被驅動軸裝置相連，所述被驅動軸裝置包括軸承，安裝在軸承上的大傘形齒輪，所述大傘形齒輪與角接觸球軸承對接，當驅動十字軸轉動時，帶動角接觸球軸承轉動，再通過角接觸球軸承帶動大傘形齒輪轉動，從而帶動被驅動軸裝置轉動。

本發明的優先實施方案是，所述軸承為陶瓷軸承。

本發明的優先實施方案是，所述法蘭為磁性法蘭。

本發明的優先實施方案是，所述法蘭與殼體的連接處設置有水密封裝置和o形密封圈。

本發明的優先實施方案是，所述被驅動軸裝置、驅動十字軸的末端、角接觸球軸承設置在殼體的腔內。

本發明的優先實施方案是，靶材連接裝置與殼體的連接處還設有真空密封裝置和o形密封圈，通過真空密封裝置和o形密封圈對所述傘齒輪傳動旋轉端頭內部實施密封。

本發明的優先實施方案是，驅動十字軸裝置與殼體的連接縫隙處設有o形密封圈和骨架油封裝置，用于隔絕殼體的內部與大氣層的接觸。

本發明的優先實施方案是，所述傘齒輪傳動旋轉端頭還與冷卻水、電裝置相連，通過所述冷卻水、電裝置對所述傘齒輪傳動旋轉端頭供應冷卻水和供電。

本發明的優先實施方案是，所述小傘齒輪通過聯軸器與減速馬達相連，通過減速馬達的轉動，帶動驅動十字軸轉動。

本發明的優先實施方案是，靶材連接裝置與殼體采用開口螺母連接。

本發明的技術效果是，通過設置密封裝置，提高了旋轉端頭的密封性，通過驅動十字軸、大、小傘形齒輪的設置，提高了傳動效率，另采用陶瓷軸承，提高了旋轉陰極的濺射功率和穩定性。

附圖說明

附圖1為本實用新型的結構剖面圖；

附圖2為本實用新型的俯視結構示意圖。