[實用新型]一種磁控濺射鍍膜傘齒輪傳動旋轉端頭

有效

• 申請號: 201320857549.3
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN203926694U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 李征;張俊峰;魏慶瑄
• 申請（專利權）人: 上海子創鍍膜技術有限公司
• 主分類號: F16H57/02
• 分類號: F16H57/02;F16H57/023;F16H57/029;C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 上海百一領御專利代理事務所(普通合伙) 31243
• 代理人: 陳貞健

1.一種磁控濺射鍍膜傘齒輪傳動旋轉端頭，包括殼體（1）、固定在殼體（1）上端的法蘭（10），固定在殼體（1）下端的靶材連接裝置（8），其特征在于，在殼體（1）的一側上端設有驅動十字軸裝置（2），所述驅動十字軸裝置（2）包括驅動十字軸（20），所述驅動十字軸（20）末端安裝有角接觸球軸承（21），頂端安裝有小傘齒輪（22），所述驅動十字軸裝置（2）通過所述角接觸球軸承(21)與被驅動軸裝置（3）相連，所述被驅動軸裝置（3）包括軸承（9），安裝在軸承（9）上的大傘形齒輪（90），所述大傘形齒輪（90）與角接觸球軸承(21)對接，當驅動十字軸（20）轉動時，帶動角接觸球軸承（21）轉動，再通過角接觸球軸承（21）帶動大傘形齒輪（90）轉動，從而帶動被驅動軸裝置（3）轉動。

2.根據權利要求1所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，所述軸承（9）為陶瓷軸承（9）。

3.根據權利要求1所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，所述法蘭（10）為磁性法蘭（10）。

4.根據權利要求1或3所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，所述法蘭（10）與殼體（1）的連接處設置有水密封裝置(4)和o形密封圈(11)。

5.根據權利要求1所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，所述被驅動軸裝置（3）、驅動十字軸（20）的末端、角接觸球軸承(21)設置在殼體（1）的腔內。

6.根據權利要求1所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，靶材連接裝置（8）與殼體（1）采用開口螺母（6）連接。

7.根據權利要求1所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，靶材連接裝置（8）與殼體（1）的連接處還設有真空密封裝置（5）和o形密封圈(11)，通過真空密封裝置（5）和o形密封圈(11)對所述傘齒輪傳動旋轉端頭（100）內部實施密封。

8.根據權利要求1所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，驅動十字軸裝置（2）與殼體（1）的連接縫隙處設有o形密封圈(11)和骨架油封（12），用于隔絕殼體（1）的內部與大氣層的接觸。

9.根據權利要求1所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，所述傘齒輪傳動旋轉端頭（100）還與冷卻水、電裝置（7）相連，通過所述冷卻水、電裝置（7）對所述傘齒輪傳動旋轉端頭（100）供應冷卻水和供電。

10.根據權利要求1所述的傘齒輪傳動旋轉端頭，其特征在于，所述小傘齒輪（22）通過聯軸器與減速馬達相連，通過減速馬達的轉動，帶動驅動十字軸（20）轉動。