[實(shí)用新型]一種雙搖擺噴淋裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320856403.7
• 申請(qǐng)日: 2013-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN203700525U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建光;劉雪橋;陳龍英;朱西祥;李衛(wèi)華;劉以新
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市潔馳科技有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種雙搖擺噴淋裝置，用于蝕刻機(jī)或者顯影機(jī)，其特征在于，包括上下兩組對(duì)稱設(shè)置的搖擺噴淋單元，所述搖擺噴淋單元包括垂直于待蝕刻基板的傳送方向的導(dǎo)軌，架設(shè)于所述導(dǎo)軌上且垂直于所述傳送方向作往復(fù)式直線運(yùn)動(dòng)的噴淋架，以及活動(dòng)設(shè)置于所述噴淋架中且相互間隔的多個(gè)噴淋管，所述噴淋管的兩端與所述導(dǎo)軌之間均設(shè)置有旋轉(zhuǎn)塊，所述旋轉(zhuǎn)塊的一端與所述導(dǎo)軌之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)塊的另一端與所述噴淋管垂直且軸向定位連接。?

2.如權(quán)利要求1所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌上固定設(shè)置有定位架，所述旋轉(zhuǎn)塊的一端通過定位件與所述定位架轉(zhuǎn)動(dòng)連接。?

3.如權(quán)利要求2所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋架上橫設(shè)有噴管固定板，所述噴管固定板位于所述噴淋管和所述旋轉(zhuǎn)塊之間。?

4.如權(quán)利要求3所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管與所述旋轉(zhuǎn)塊通過軸向定位組件配合形成軸向定位連接，所述軸向定位組件包括與所述噴淋管連接的噴管堵頭，與所述噴管堵頭軸向定位連接的轉(zhuǎn)接頭，以及套接所述噴管堵頭和所述轉(zhuǎn)接頭的套殼，所述轉(zhuǎn)接頭穿過所述噴管固定板并與所述旋轉(zhuǎn)塊軸向定位連接。?

5.如權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述雙搖擺噴淋裝置還包括用于驅(qū)動(dòng)所述搖擺噴淋單元運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件設(shè)于所述上下兩噴淋架的同側(cè)，并分別與其固定連接，且所述驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)所述上下兩噴淋架垂直于所述傳送方向作錯(cuò)開式直線運(yùn)動(dòng)。?

6.如權(quán)利要求5所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件包括電動(dòng)機(jī)，以及由所述電動(dòng)機(jī)上伸出的主軸，所述主軸上固定連接有兩組反向設(shè)置的偏心輪，所述偏心輪上套設(shè)有偏心套，所述偏心套上固定連接有拉桿，所述拉桿與所述噴淋架固定連接。?

7.如權(quán)利要求1所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管上設(shè)置有多個(gè)用于噴淋藥液的噴嘴。?

8.如權(quán)利要求7所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管上還設(shè)置有進(jìn)液管，所述進(jìn)液管與所述噴淋管連通，且所述進(jìn)液管上開設(shè)有用于輸入藥液的進(jìn)液口。?