[實(shí)用新型]一種雙搖擺噴淋裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320856403.7
• 申請(qǐng)日: 2013-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN203700525U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建光;劉雪橋;陳龍英;朱西祥;李衛(wèi)華;劉以新
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市潔馳科技有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237
• 代理人: 張全文

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及蝕刻、顯影設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于蝕刻機(jī)或者顯影機(jī)中的雙搖擺噴淋裝置。

背景技術(shù)

隨著電子行業(yè)發(fā)展的日益加快，印制電路板（PCB）的應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣泛，這也相應(yīng)地要求其相關(guān)的工藝能滿足日益更新的發(fā)展需求。

蝕刻(etching)是將印制電路板的基板使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)，蝕刻技術(shù)可以分為濕蝕刻(wet?etching)和干蝕刻(dry?etching)兩類，通常所指蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻（photochemical?etching），指通過(guò)曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。

噴淋是蝕刻過(guò)程中一個(gè)重要的步驟，對(duì)蝕刻能力均勻穩(wěn)定有著極大的影響。

現(xiàn)有的蝕刻、顯影機(jī)中的噴淋架噴淋裝置主要是單向搖擺的，其普遍存在的缺點(diǎn)是：噴淋裝置作單方向的直線運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致基板上表面容易會(huì)產(chǎn)生積液，無(wú)法消除基板板面中間的水池效應(yīng)，所謂水池效應(yīng)，指的是藥水噴淋到基板上，而繼續(xù)噴淋出的藥水會(huì)被原有的積液所阻礙，不能直接與基板表面的待蝕刻層接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)；現(xiàn)有的蝕刻、顯影機(jī)中的噴淋架噴淋裝置，還存在噴灑均勻度不夠好，容易出現(xiàn)基板四周蝕刻效果好，而基板中間部分蝕刻不均勻現(xiàn)象，因此不能生產(chǎn)高、精、細(xì)的線路。

現(xiàn)有的蝕刻、顯影機(jī)中的噴淋架噴淋裝置，其上的噴淋管通常是固定安裝的，當(dāng)噴淋管損壞時(shí)，其拆卸、更換、維修十分不便；另外，噴淋裝置中的噴淋架四周框體通常采用直接焊接固定，其強(qiáng)度不夠，容易破壞松動(dòng)，導(dǎo)致噴淋不均勻，嚴(yán)重影響蝕刻效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙搖擺噴淋裝置，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中，蝕刻、顯影機(jī)中的噴淋架噴淋裝置存在如下缺陷：

1）噴淋裝置作單方向的直線運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致基板上表面容易會(huì)產(chǎn)生積液，進(jìn)而導(dǎo)致基板上表面產(chǎn)生水池效應(yīng)，嚴(yán)重影響蝕刻精度；

2）噴淋裝置中的噴淋管是固定安裝的，當(dāng)噴淋管損壞時(shí)，其拆卸、更換、維修十分不便。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種雙搖擺噴淋裝置，用于蝕刻機(jī)或者顯影機(jī)，包括上下兩組對(duì)稱設(shè)置的搖擺噴淋單元，所述搖擺噴淋單元包括垂直于待蝕刻基板的傳送方向的導(dǎo)軌，架設(shè)于所述導(dǎo)軌上的且垂直于所述傳送方向作往復(fù)式直線運(yùn)動(dòng)的噴淋架，以及活動(dòng)設(shè)置于所述噴淋架中且相互間隔的多個(gè)噴淋管，所述噴淋管的兩端與所述導(dǎo)軌之間均設(shè)置有旋轉(zhuǎn)塊，所述旋轉(zhuǎn)塊的一端與所述導(dǎo)軌之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)塊的另一端與所述噴淋管垂直且軸向定位連接。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)軌上固定設(shè)置有定位架，所述旋轉(zhuǎn)塊的一端通過(guò)定位件與所述定位架轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

進(jìn)一步地，所述噴淋架上橫設(shè)有噴管固定板，所述噴管固定板位于所述噴淋管和所述旋轉(zhuǎn)塊之間。

優(yōu)選地，所述噴淋管與所述旋轉(zhuǎn)塊通過(guò)軸向定位組件配合形成軸向定位連接，所述軸向定位組件包括與所述噴淋管連接的噴管堵頭，與所述噴管堵頭軸向定位連接的轉(zhuǎn)接頭，以及套接所述噴管堵頭和所述轉(zhuǎn)接頭的套殼，所述轉(zhuǎn)接頭穿過(guò)所述噴管固定板并與所述旋轉(zhuǎn)塊軸向定位連接。

進(jìn)一步地，所述雙搖擺噴淋裝置還包括用于驅(qū)動(dòng)所述搖擺噴淋單元運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件設(shè)于所述上下兩噴淋架的同側(cè)，并分別與其固定連接，且所述驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)所述上下兩噴淋架垂直于所述傳送方向作錯(cuò)開式直線運(yùn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)組件包括電動(dòng)機(jī)，以及由所述電動(dòng)機(jī)上伸出的主軸，所述主軸上固定連接有兩組反向設(shè)置的偏心輪，所述偏心輪上套設(shè)有偏心套，所述偏心套上固定連接有拉桿，所述拉桿與所述噴淋架固定連接。

進(jìn)一步地，所述噴淋管上設(shè)置有多個(gè)用于噴淋藥液的噴嘴。

更進(jìn)一步地，所述噴淋管上還設(shè)置有進(jìn)液管，所述進(jìn)液管與所述噴淋管連通，且所述進(jìn)液管上開設(shè)有用于輸入藥液的進(jìn)液口。

優(yōu)選地，所述噴淋架包括兩側(cè)框和兩橫框，所述側(cè)框和所述橫框固定連接。

進(jìn)一步地，所述兩側(cè)框上均設(shè)有用于增加強(qiáng)度的加強(qiáng)板，且所述兩側(cè)框之間固定連接有用于增加強(qiáng)度加強(qiáng)棒。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提出的雙搖擺噴淋裝置，噴淋管活動(dòng)穿插在垂直于傳送方向作往復(fù)式直線運(yùn)動(dòng)的噴淋架中，這樣使噴淋管的安裝和拆卸更加簡(jiǎn)單便捷；噴淋管和導(dǎo)軌之間設(shè)置有旋轉(zhuǎn)塊，使噴淋管在噴淋架往復(fù)式直線運(yùn)動(dòng)的作用下，實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)動(dòng)和直線運(yùn)動(dòng)的雙動(dòng)作噴淋，有效地消除了水池效應(yīng)，提高了蝕刻的精度和效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的雙搖擺噴淋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；