[實用新型]光刻膠顯影裝置

有效

• 申請號: 201320850730.1
• 申請日: 2013-12-20
• 公開（公告）號: CN203630511U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 金海猷
• 申請（專利權）人: 徐州同鑫光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244
• 代理人: 張榮亮

技術領域

本實用新型涉及一種顯影裝置，具體是一種光刻膠顯影裝置。

背景技術

PSS（Patterened?Sapphire?Substrate）制作工序中光刻工藝是比較重要的一環，該光刻工藝分為涂布、曝光和顯影三個步驟。該顯影的設備為光刻膠顯影裝置。

該光刻膠顯影裝置位于晶圓1垂直上方，通過噴嘴3向整片晶圓1上噴淋顯影液，完成顯影步驟。在顯影液噴淋下來的同時，晶圓1表面會產生細小氣泡4。如圖2所示，這些細小氣泡4雖然會在顯影工藝后旋轉烘烤的過程中借助旋轉動作向晶圓1外側移動，但仍有部分氣泡4沒有向晶圓1外側移動，而是殘留在晶圓1的圖案2之間。如果不清除這些氣泡，可能會引發圖案2變形，或影響后續蝕刻工藝，不能蝕刻出正確圖案等問題，嚴重地影響了產品的質量和產量。

實用新型內容

針對上述現有技術存在的問題，本實用新型提供一種光刻膠顯影裝置，有效地減少在顯影工藝中產生的氣泡。

為了實現上述目的，本實用新型的一種光刻膠顯影裝置，包括顯影罐、緩存槽、流量計、過濾器、氣動閥及噴嘴，顯影罐、緩存槽、流量計、氣動閥及噴嘴依次通過管道連通，緩存槽的出口處設置過濾器，其中噴嘴為鋸齒形噴嘴。

進一步，還包括氣吹噴頭，氣吹噴頭活動連接在鋸齒形噴嘴上，其與氣體管路一體成形。

優選地，鋸齒形噴嘴中鋸齒個數至少為3個。

優選地，鋸齒形噴嘴中鋸齒的高度為4～5mm。

優選地，鋸齒形噴嘴中鋸齒間距為1～1.5mm。

顯影工藝是將顯影液通過噴嘴噴淋在晶圓表面上，由于噴嘴為鋸齒形，有效地減少了在噴淋之前形成的細小氣泡，也減少了殘留在晶圓圖案間的氣泡，消除了圖案的變形，為后續地蝕刻工藝提供清晰的圖案，提高了產品的質量和產量。

附圖說明

圖1是本實用新型的組成示意圖；

圖2是現有技術中噴嘴的結構示意圖；

圖3是本實用新型中噴嘴的結構示意圖。

圖中：1、晶圓，2、圖案，3、噴嘴，4、氣泡，5、鋸齒形噴嘴。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖1和圖3所示，本實用新型的一種光刻膠顯影裝置，包括顯影罐、緩存槽、流量計、過濾器、氣動閥及噴嘴，顯影罐是儲存顯影液的罐子，緩存槽為減少氣泡的產生而設置的，流量計是調節顯影液壓力的裝置，氣動閥是調節顯影液流量的裝置，噴嘴是噴灑顯影液的結構，該顯影罐、緩存槽、流量計、氣動閥及噴嘴依次通過管道連通，緩存槽的出口處設置過濾器，該過濾器可以進一步地減少異物質及氣泡，其中噴嘴為鋸齒形噴嘴5。

PSS制作工序中光刻工藝是指在藍寶石晶片上刻制圖案的工藝。光刻膠涂抹后，借助高速旋轉動力完成涂布，繼而進行軟烘烤；然后進行曝光、焙烘；最后顯影、烘烤。因此，光刻工藝分為涂布、曝光、顯影三個步驟。

顯影工藝中，通過噴嘴向整片晶圓1上噴淋顯影液，完成顯影步驟。鋸齒形噴嘴5破壞了氣泡4表面的張力，有效地減少了在噴淋之間形成的氣泡4，進一步地減少了殘留在晶圓1的圖案2間的氣泡4，消除了圖案2的變形，為后續地蝕刻工藝提供清晰的圖案，提高了產品的質量和產量。

進一步，本實用新型的光刻膠顯影裝置在鋸齒形噴嘴5上設置氣吹噴頭，該氣吹噴頭活動連接在鋸齒形噴嘴5上，其與氣體管路一體成形。在操作工藝過程中，鋸齒形噴嘴5向晶圓1上噴淋顯影液后，打開氣體管路，則氣吹噴頭噴出氣體對涂覆在晶圓1表面上產生的氣泡4進行吹拂，一方面使顯影液均勻分散在晶圓1表面，另一方面可以進一步地清除少量殘留在晶圓1的圖案2間的氣泡4。

優選地，鋸齒形噴嘴5中鋸齒個數至少為3個；鋸齒形噴嘴5中鋸齒的高度為4～5mm；鋸齒形噴嘴5中鋸齒間距為1～1.5mm；該結構的鋸齒形噴嘴5有效地消除了在噴淋之間形成的氣泡4，清除了殘留在晶圓1的圖案2間的氣泡4。