[實用新型]光刻膠顯影裝置有效
| 申請號： | 201320850730.1 | 申請日： | 2013-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN203630511U | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發明（設計）人： | 金海猷 | 申請（專利權）人： | 徐州同鑫光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/32 | 分類號： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 張榮亮 |
| 地址： | 221000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 顯影 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種光刻膠顯影裝置，包括顯影罐、緩存槽、流量計、過濾器、氣動閥及噴嘴，所述顯影罐、緩存槽、流量計、氣動閥及噴嘴依次通過管道連通，所述緩存槽的出口處設置過濾器，其特征在于，所述噴嘴為鋸齒形噴嘴（5）。
2.根據權利要求1所述的光刻膠顯影裝置，其特征在于，還包括氣吹噴頭，所述氣吹噴頭活動連接在鋸齒形噴嘴（5）上，其與氣體管路一體成形。
3.根據權利要求1或2所述的光刻膠顯影裝置，其特征在于，所述鋸齒形噴嘴（5）中鋸齒個數至少為3個。
4.根據權利要求1或2所述的光刻膠顯影裝置，其特征在于，所述鋸齒形噴嘴（5）中鋸齒的高度為4～5mm。
5.根據權利要求1或2所述的光刻膠顯影裝置，其特征在于，所述鋸齒形噴嘴（5）中鋸齒間距為1～1.5mm。
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