[實用新型]一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構

有效

• 申請號: 201320842258.7
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號: CN203644744U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 蔡良斌;丁天祥
• 申請（專利權）人: 常熟晶悅半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本實用新型屬半導體及LED制造領域，具體涉及一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構。

背景技術

隨著國內半導體行業的發展及集成電路代工廠的長期運營，晶圓傳輸機械手的國產化及現有進口設備維修的需求日益增長，而如何對研發及維修后的機械手進行性能測試是最亟需解決的關鍵問題之一。現有對晶圓傳輸機械手的定位、重復定位精度及運行穩定性等性能進行測試時，一般采用位移傳感器或圖像識別等元件直接對設備末端機械手指表面的幾何特征進行測量。顯然，當傳輸機械手的手掌末端的幾何特征或材料發生變化時，所需測試元件（如光源設備）也有所不同，測試單位不僅需要儲備與各種型號機械手對應的末端機械手指，還需要儲備相應的測量元件。在半導體及LED制造過程中，傳輸晶圓或基片時，一般都是通過關節式機械手或通過皮帶傳送材料。同時由于關節式機械手成本太高。如果采用手動方式來拿材料，效率很低，也會污染生產材料。這樣造成了大量人力及物力的浪費。為了避免對晶圓或基片的污染，同時為了提高生產效率，采用自動化的傳輸機構。

實用新型內容

本實用新型為了避免對晶圓或基片的污染，同時為了提高生產效率，設計了本實用新型一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，具體解決方案如下：

一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，包括：基座、機械臂、DDR馬達，其中，所述DDR馬達固定在所述基座上，所述機械臂在所述DDR馬達上部且所述機械臂與所述DDR馬達輸出連接。

上述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其中，所述機械臂為兩個，兩個所述機械臂一端連接形成120度夾角，所述機械臂連接的一端與所述DDR馬達輸出連接。

上述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其中，所述機械臂末端有一真空吸嘴，所述真空吸嘴用于吸附晶圓或基片。

上述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其中，還包括真空接頭一和真空接頭二，所述真空接頭一和所述真空接頭二固定在所述基座上且分別接真空到兩所述真空吸嘴。

上述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其中，還包括一零位傳感器，所述零位傳感器固定在所述DDR馬達一側的所述基座上，所述零位傳感器定位所述機械臂的位置。

上述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其中，所述馬達接收到零位傳感器發出的信號，所述DDR馬達將帶動所述機械臂向相反的方向旋轉，所述機械臂能夠停留在360度的范圍內。

上述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其中，還包括X向導軌和Y向導軌，所述Y向導軌在X向導軌上部沿所述X向軌道滑動，所述基座在所述Y向導軌上且沿所述Y向軌道滑動。

上述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其中，還包括DDR馬達上的光柵尺，所述DDR馬達上的光柵尺保證馬達旋轉的精確度。

使用本實用新型的有益效果是：1、以較低的成本，滿足客戶精度要求較低的需求；2、減少污染，提高效率。

附圖說明

圖1為本實用新型一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖1和具體事例對本實用新型做進一步的說明，但不作為本實用新型的限定。

如圖1所示，一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，包括：基座3、機械臂2、DDR馬達1，其中，DDR馬達1固定在基座3上，機械臂2與DDR馬達1輸出連接，DDR馬達輸出軸與基座的平面相互垂直。其中，機械臂2為兩個，兩個機械臂2一端連接在一起形成120度夾角，機械臂2連接在一起的一端與DDR馬達1輸出連接，DDR馬達1帶動機械臂2在360度范圍內轉動，其中，機械臂2末連接的一端各有一真空吸嘴8，真空吸嘴8用于吸附晶圓或基片。

如圖1所示，還包括真空接頭一5和真空接頭二6，真空接頭一5和真空接頭6二固定在基座3上，并且分別連接真空到兩真空吸嘴8，并且能分別控制真空吸嘴8，當真空吸嘴8吸附到晶圓或者基片時，真空傳感器將能檢測到晶圓或者基片。

如圖1所示，還包括一零位傳感器4，零位傳感器4固定在DDR馬達1一側的基座上，零位傳感器4定位機械臂2的位置，當機械臂2到達零位時，DDR馬達1接收到零位傳感器4發出的信號，DDR馬達1將帶動機械臂2向相反的方向旋轉，機械臂2能夠停留在360度的范圍內。在本實例中，當真空吸嘴8吸附到晶圓或者基片時，真空傳感器檢測到晶圓或者基片，并且真空傳感器將信號發送到DDR馬達1控制系統，控制系統將輸出信號使機械臂2旋轉到固定的位置，然后將所吸附到的晶圓或者基片放置到固定的位置。