[實用新型]一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構

有效

• 申請號: 201320842258.7
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號: CN203644744U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 蔡良斌;丁天祥
• 申請（專利權）人: 常熟晶悅半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，包括：基座、機械臂、DDR馬達，其特征在于，所述DDR馬達固定在所述基座上，所述機械臂在所述DDR馬達上部且所述機械臂與所述DDR馬達輸出連接。

2.根據權利要求1所述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其特征在于，所述機械臂為兩個，兩個所述機械臂一端連接形成120度夾角，所述機械臂連接的一端與所述DDR馬達輸出連接。

3.根據權利要求1所述述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其特征在于，所述機械臂末端有一真空吸嘴，所述真空吸嘴用于吸附晶圓或基片。

4.根據權利要求3所述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其特征在于，還包括真空接頭一和真空接頭二，所述真空接頭一和所述真空接頭二固定在所述基座上且分別接真空到兩所述真空吸嘴。

5.根據權利要求1所述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其特征在于，還包括一零位傳感器，所述零位傳感器固定在所述DDR馬達一側的所述基座上，所述零位傳感器定位所述機械臂的位置。

6.根據權利要求4所述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其特征在于，所述馬達接收到零位傳感器發出的信號，所述DDR馬達將帶動所述機械臂向相反的方向旋轉，所述機械臂能夠停留在360度的范圍內。

7.根據權利要求1所述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其特征在于，還包括X向導軌和Y向導軌，所述Y向導軌在X向導軌上部沿所述X向軌道滑動，所述基座在所述Y向導軌上且沿所述Y向軌道滑動。

8.根據權利要求1所述一種DDR馬達構成的機械手旋轉機構，其特征在于，還包括DDR馬達上的光柵尺，所述DDR馬達上的光柵尺保證馬達旋轉的精確度。