[實用新型]晶片多面取像檢測裝置

有效

• 申請號: 201320828978.8
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN203658274U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 徐嘉新;史偉志;楊勝雄;林建宏
• 申請（專利權）人: 竑騰科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王剛

1.一種晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，其包括：

一基座，其上界定有一呈水平線的晶片輸送路徑；

一反光盆，其以盆口朝上的方式安裝設置于基座中，且位于晶片輸送路徑下方，反光盆的周壁內表面具有反光表面，反光盆周壁底部設有一底取像孔，反光盆周壁側面設有多個側取像孔；

一第一光源，其設置于基座上，用以朝向反光盆的盆口中間區域及晶片輸送路徑方向提供照明；

一第二光源，其設置于反光盆頂部，用以在反光盆提供照明；

一第一取像組件，其裝設置于基座中，且第一取像組件以鏡頭垂直朝上的方式伸向反光盆底部的底取像孔，用以對沿晶片輸送路徑移動的待測晶片擷取底面影像；以及

多個第二取像組件，其分布設置于基座中且環繞排列于反光盆外圍，所述多個第二取像組件的鏡頭能經由反光盆周壁的側取像孔對沿晶片輸送路徑移動的待測晶片擷取周邊側面的影像。

2.根據權利要求1所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述多個第二取像組件分別以鏡頭由下朝上傾斜的方式伸向反光盆周壁的側取像孔。

3.根據權利要求1所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述基座底部安裝設置一升降驅動組件，以升降驅動組件連接該第一取像組件。

4.根據權利要求3所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述升降驅動組件包括一中空的延伸座固定于所述基座底部，該延伸座側面設有縱向滑軌，在縱向滑軌上設有一滑座，第一取像組件組裝設置于滑座上，在延伸座底部設有一伺服馬達，伺服馬達的心軸組裝連接一螺桿，并該螺桿以螺桿縱向設置于滑座。

5.根據權利要求2所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述基座底部安裝設置一升降驅動組件，以升降驅動組件連接該第一取像組件，所述升降驅動組件包括一中空的延伸座固定于所述基座底部，該延伸座側面設有縱向滑軌，在縱向滑軌上設有一滑座，第一取像組件組設置于滑座上，在延伸座底部設有一伺服馬達，伺服馬達的心軸組裝連接一螺桿，并該螺桿以螺桿縱向設置于滑座。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述基座包括一第一座體、一固定于第一座體上方的第二座體以及一透光板，第二座體中間形成一裝配孔，透光板覆蓋于裝配孔上方，晶片輸送路徑通過透光板上方；

所述第一光源包括多組具有多個發光二極管的發光組件，該多個發光組件組裝設置于基座的第二座體上，且分布于裝配孔外圍;

所述第二光源系設置于第二座體下方與反光盆頂部之間，所述第二光源包括至少一側環光帶以及一位于側環光帶下方的底環光帶，所述側環光帶包括多個發光二極管分布設置于其帶體內環周面，用以朝中央投光，所述底環光帶包括有多個發光二極管分布設置于其帶體底面，用以朝下方的反光盆周壁的反光表面投光。

7.根據權利要求1至5中任一項所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述晶片多面取像檢測裝置增設有一反光帶，反光帶用以連接一晶片輸送裝置中一列用以取置待測晶片的取置件，所述反光帶位于取置件的取置端部上方，且反光帶在兩相鄰取置件間的區段形成彎折狀光折射部，用以將光向下反射。

8.根據權利要求1至5中任一項所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述基座頂部設有兩個輔助反光板，所述兩個輔助反光板各包括一斜向光反射部，所述兩個輔助反光板的斜向光反射部設置于該晶片輸送路徑的相對兩側呈傾斜朝下的對稱狀。

9.根據權利要求1至5中任一項所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述基座頂部設有兩個輔助反光板，所述兩個輔助反光板各包括一斜向光反射部，所述兩個輔助反光板的斜向光反射部設置于該晶片輸送路徑的相對兩側呈傾斜朝下的對稱狀；所述晶片多面取像檢測裝置增設有一反光帶，反光帶用以連接一晶片輸送裝置中一列用以取置待測晶片的取置件，所述反光帶位于取置件的取置端部上方，且反光帶于兩相鄰取置件間的區段形成彎折狀光折射部，用以將光向下反射。

10.根據權利要求6所述的晶片多面取像檢測裝置，其特征在于，所述基座的第二座體頂部設有兩個輔助反光板，所述兩個輔助反光板各包括一斜向光反射部，所述兩個輔助反光板的斜向光反射部設置于該晶片輸送路徑的相對兩側呈傾斜朝下的對稱狀；所述晶片多面取像檢測裝置增設有一反光帶，反光帶用以連接一晶片輸送裝置中一列用以取置待測晶片的取置件，所述反光帶位于取置件的取置端部上方，且反光帶在兩相鄰取置件間的區段形成彎折狀光折射部，用以將光向下反射。