[實用新型]一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備

有效

• 申請號: 201320824950.7
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN203658727U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 史曉華
• 申請（專利權）人: 史曉華
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F9/00
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 魏亮芳

技術領域

本實用新型涉及一種納米壓印設備，特別涉及一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備。

背景技術

目前，所使用的納米壓印設備主要由傳動裝置、加熱裝置、壓印裝置、真空裝置和相關電氣裝置等組裝而成。將貼合好的模板和基板放置于傳動裝置上，該傳動裝置其實是一可活動的平臺，傳動裝置將貼合好的模板和基板送入到壓印腔中，加熱裝置開始加熱，真空裝置將壓印腔形成壓力差，通過工藝的調整將圖形轉移到壓印膠上。

但是，目前的納米壓印設備僅能實現簡單的壓印功能，且需要人工去輔助，如將貼合好的模板和基板放置于傳動裝置上，工作效率不高；并且在需要實現多層圖像套刻壓印的時候，沒有對準機構的壓印設備無法實現，目前的納米壓印設備顯然并不能滿足這一要求。

實用新型內容

本實用新型的目的就是針對上述問題，提供一種可以實現多層圖像套刻壓印且工作效率高的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備。

為了實現上述目的，本實用新型提供了以下技術方案：具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備，包括機臺，還包括：

?壓印腔機構，其設置于上述機臺上；

?模板平臺，其連接一球軸和一Z軸運動驅動裝置，該模板平臺的上方還設置有一視覺觀察裝置；

基板平臺，其設置于上述機臺上、上述模板平臺的下方，該基板平臺通過一平臺驅動裝置驅動，在上述壓印腔機構和模板平臺之間來回移動。

優選地，上述的模板平臺還連接一旋轉運動驅動裝置和一XY軸運動驅動裝置。

優選地，上述的平臺驅動裝置包括設置在上述基板平臺下的傳動平臺和連接該傳動平臺的皮帶輪機構。

優選地，上述的傳動平臺還設置于一導軌上，該導軌設置于上述機臺上，其包括垂直相交的第一導軌單元和第二導軌單元，上述模板平臺設置于該第一導軌單元處，上述壓印腔機構設置于該第二導軌單元處。

優選地，上述的基板平臺上還設置有夾緊裝置。

優選地，上述的視覺觀察裝置還連接一第二Z軸運動驅動裝置和第二XY軸運動驅動裝置。

采用以上技術方案的有益效果在于：本實用新型的設備主要包括了壓印腔機構、具有球軸和Z軸運動驅動裝置的模板平臺和可以在壓印腔機構和模板平臺之間來回移動的基板平臺，通過上述的模板平臺、基板平臺和壓印腔機構的結合作用，不但可以保證基板和模板之間的平行度，實現壓印模板與基底的微圖案對準調整，從而實現多層圖像套刻壓印，而且可以形成對準、貼合、壓印等一系列的工作，提高了整體的工作效率。

附圖說明

圖1是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備在一側位置上的結構示意圖。

圖2是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備在另一側位置上的結構示意圖。

圖3是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備在俯視位置上的結構示意圖。

圖4是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備的立體圖1。

圖5是本實用新型的具有快速對準和壓印功能的新型納米壓印設備的立體圖2。

其中，1.機臺?2.壓印腔機構?21.壓力氣缸?22.增壓密封單元?23.密封型腔單元?3.模板平臺31.球軸?32.?Z軸運動驅動裝置?33.旋轉運動驅動裝置?34.XY軸運動驅動裝置?35.模板平臺支架?4.視覺觀察裝置?41.第二Z軸運動驅動裝置?42.第二XY軸運動驅動裝置?5.基板平臺?51.夾緊裝置?6.平臺驅動裝置?61.傳動平臺?62.皮帶輪機構?7.導軌?71.第一導軌單元?72.第二導軌單元。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型的優選實施方式。