[實用新型]一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備有效
| 申請號： | 201320824950.7 | 申請日： | 2013-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN203658727U | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 史曉華 | 申請（專利權）人： | 史曉華 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232 | 代理人： | 魏亮芳 |
| 地址： | 215513 江蘇省蘇州市常熟市常熟*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 快速 對準 功能 新型 納米 壓印 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，包括機臺，其特征在于：還包括：
壓印腔機構，其設置于所述機臺上；
模板平臺，其連接一球軸和一Z軸運動驅動裝置，所述模板平臺的上方還設置有一視覺觀察裝置；
基板平臺，其設置于所述機臺上、所述模板平臺的下方，所述基板平臺通過一平臺驅動裝置驅動，在所述壓印腔機構和所述模板平臺之間來回移動。
2.根據權利要求1所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于：所述模板平臺還連接一旋轉運動驅動裝置和一XY軸運動驅動裝置。
3.根據權利要求1所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于：所述平臺驅動裝置包括設置在所述基板平臺下的傳動平臺和連接所述傳動平臺的皮帶輪機構。
4.根據權利要求3所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于：所述的傳動平臺還設置于一導軌上，所述導軌設置于所述機臺上，其包括垂直相交的第一導軌單元和第二導軌單元，所述模板平臺設置于所述第一導軌單元處，所述壓印腔機構設置于所述第二導軌單元處。
5.根據權利要求1所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于：所述基板平臺上還設置有夾緊裝置。
6.根據權利要求1所述的一種具有快速對準功能的新型納米壓印設備，其特征在于：所述視覺觀察裝置還連接一第二Z軸運動驅動裝置和第二XY軸運動驅動裝置。
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