[實用新型]半自動一體型蝕刻清洗機

有效

• 申請號: 201320824841.5
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN203707090U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 簡建至;江獻茂;黃自柯
• 申請（專利權）人: 冠禮控制科技（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 楊軍

1.一種半自動一體型蝕刻清洗機，包括箱體（1），其特征在于：所述箱體（1）的前部設有清洗區，所述箱體（1）的后部設有維修區，所述清洗區包括安全清洗區（2）和危險清洗區（3），所述安全清洗區（2）位于清洗區的前半區，所述危險清洗區（3）位于清洗區的后半區，所述安全清洗區（2）和危險清洗區（3）內均置有槽體，所述安全清洗區（2）、危險清洗區（3）之間設置有機械手臂（4），所述機械手臂（4）為前后回轉升降式機械手臂，所述機械手臂（4）安裝在箱體（1）頂部，所述機械手臂（4）上方設有機械手臂維護區（5），所述安全清洗區（2）上方安裝有高效過濾器（6），所述危險清洗區（3）后部設置有抽風口（7），所述箱體（1）后端設有排氣管道（11），所述抽風口（7）與排氣管道（11）相連，所述維修區包括上安全區和下危險區（8），所述上安全區為電控柜（9）。

2.如權利要求1所述的清洗機，其特征在于：所述槽體為超聲槽、溢流槽、靜置槽、加熱槽或干燥槽。

3.如權利要求1所述的清洗機，其特征在于：所述安全清洗區（2）內置的槽體為水洗槽體（12），所述危險清洗區（3）內置的槽體為酸洗槽體（13）。

4.如權利要求2或3所述的清洗機，其特征在于：所述安全清洗區（2）和危險清洗區（3）內置的槽體分別設有至少一個以上。

5.如權利要求4所述的清洗機，其特征在于：所述電控柜（9）的前端面上設有控制面板，所述電控柜（9）內部設有電氣系統，所述電氣系統由線路連接控制面板上的按鍵控制區。

6.如權利要求5所述的清洗機，其特征在于：所述箱體（1）前頂部設有儀表組件（10），所述儀表組件（10）傾斜式安裝在箱體（1）上，所述儀表組件（10）由線路連接電控柜（9）內部的電氣系統。

7.如權利要求6所述的清洗機，其特征在于：所述下危險區（8）的外框架采用碳鋼或不銹鋼骨架外包雙層聚乙烯板。