[實用新型]應用于激光退火設備的吹掃裝置有效
| 申請號： | 201320818003.7 | 申請日： | 2013-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN204135553U | 公開（公告）日： | 2015-02-04 |
| 發明（設計）人： | 童宇鋒;胡榮星 | 申請（專利權）人： | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/142 | 分類號： | B23K26/142 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁紀鐵 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 應用于 激光 退火 設備 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.應用于激光退火設備的吹掃裝置，其特征在于，設置在激光退火設備工件臺上方區域的周圍，包括一組以上氣流腔。
2.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述氣流腔呈環形。
3.根據權利要求1或2所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃裝置和激光退火設備相關聯，當激光退火開始時，吹掃裝置自動關閉氣流；當激光退火結束后，吹掃裝置自動開啟氣流，向激光退火設備工件臺吹純凈的氣體。
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