[實(shí)用新型]用于沉積工藝的防護(hù)罩

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320816022.6
• 申請(qǐng)日: 2013-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203700513U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金慶泰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/04
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/04
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種用于沉積工藝的防護(hù)罩，所述防護(hù)罩包括：

矩形框架構(gòu)件，所述矩形框架構(gòu)件具有兩個(gè)相對(duì)的主要側(cè)面和兩個(gè)相對(duì)的次要側(cè)面，所述主要側(cè)面和所述次要側(cè)面中的每一個(gè)包括：

第一側(cè)面；

第二側(cè)面，所述第二側(cè)面與所述第一側(cè)面相對(duì)并且經(jīng)由第一外部側(cè)壁連接到所述第一側(cè)面；

第二外部側(cè)壁，所述第二外部側(cè)壁設(shè)置在所述第一外部側(cè)壁內(nèi)部并且界定上升區(qū)域，所述上升區(qū)域從所述第二側(cè)面的平面凸出；以及

內(nèi)部側(cè)壁，所述內(nèi)部側(cè)壁連接所述上升區(qū)域和所述第一側(cè)面，以及

矩形條狀物，所述矩形條狀物設(shè)置在所述上升區(qū)域的表面上，所述矩形條狀物包括：

第一末端；和

第二末端，所述第二末端耦合到所述第一末端并且延伸進(jìn)入所述框架構(gòu)件的內(nèi)部區(qū)域。

2.如權(quán)利要求1所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述框架構(gòu)件包括第一材料，并且所述矩形條狀物包括第二材料。

3.如權(quán)利要求2所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述第一材料和所述第二材料是不同的。

4.如權(quán)利要求2所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述第一材料包括導(dǎo)電材料，以及所述第二材料包括介電材料。

5.如權(quán)利要求1所述的防護(hù)罩，進(jìn)一步包括：

緊固組件，所述緊固組件將所述矩形條狀物耦合到所述框架構(gòu)件。

6.如權(quán)利要求5所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述緊固組件包含接合銷(xiāo)，所述接合銷(xiāo)被壓入所述框架構(gòu)件中的開(kāi)口和所述矩形條狀物中的開(kāi)口內(nèi)。

7.如權(quán)利要求6所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述緊固組件進(jìn)一步包括設(shè)置在所述接合銷(xiāo)中的緊固件。

8.如權(quán)利要求5所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述框架構(gòu)件包含第一材料，并且所述矩形條狀物和所述緊固組件包含第二材料。

9.如權(quán)利要求8所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述第一材料包含導(dǎo)電材料，以及所述第二材料包含介電材料。

10.如權(quán)利要求9所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述第二材料包含陶瓷材料。

11.如權(quán)利要求9所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述第一材料包括具有第一熱膨脹系數(shù)的材料，所述第二材料包括具有第二熱膨脹系數(shù)的材料，所述第二熱膨脹系數(shù)大體上等于所述第一熱膨脹系數(shù)。

12.一種用于沉積工藝的防護(hù)罩，所述防護(hù)罩包含：

矩形框架構(gòu)件，所述矩形框架構(gòu)件具有兩個(gè)相對(duì)的主要側(cè)面和兩個(gè)相對(duì)的次要側(cè)面，主要側(cè)面和次要側(cè)面中的每一個(gè)包含：

第一側(cè)面；

第二側(cè)面，所述第二側(cè)面與所述第一側(cè)面相對(duì)并且經(jīng)由第一外部側(cè)壁連接到所述第一側(cè)面；

第二外部側(cè)壁，所述第二外部側(cè)壁設(shè)置在所述第一外部側(cè)壁內(nèi)部并且界定上升區(qū)域，所述上升區(qū)域從所述第二側(cè)面的平面凸出；以及

內(nèi)部側(cè)壁，所述內(nèi)部側(cè)壁連接所述上升區(qū)域和所述第一側(cè)面；以及

矩形條狀物，所述矩形條狀物設(shè)置在所述上升區(qū)域的表面上，所述矩形條狀物經(jīng)由緊固組件耦合到所述框架構(gòu)件，并且所述矩形條狀物環(huán)繞所述框架構(gòu)件的內(nèi)表面，所述矩形條狀物包含：

第一末端；和

第二末端，所述第二末端耦合到所述第一末端并且延伸經(jīng)過(guò)所述內(nèi)部側(cè)壁而進(jìn)入所述框架構(gòu)件的內(nèi)部區(qū)域。

13.如權(quán)利要求12所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述緊固組件包含接合銷(xiāo)，所述接合銷(xiāo)被壓入所述框架構(gòu)件中的開(kāi)口和所述矩形條狀物中的開(kāi)口內(nèi)。

14.如權(quán)利要求13所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述緊固組件進(jìn)一步包括設(shè)置在所述接合銷(xiāo)中的緊固件。

15.如權(quán)利要求14所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述框架構(gòu)件包含第一材料，并且所述矩形條狀物和所述緊固組件包含第二材料。

16.如權(quán)利要求15所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述第一材料包含導(dǎo)電材料，以及所述第二材料包含介電材料。

17.如權(quán)利要求16所述的防護(hù)罩，其特征在于，所述第二材料包含陶瓷材料。