[實用新型]極紫外光刻反射式光學元件溫控裝置

有效

• 申請號: 201320807402.3
• 申請日: 2013-12-10
• 公開（公告）號: CN203643742U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 王魁波;吳曉斌;王宇;陳進新;張羅莎;羅艷;謝婉露
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G05D23/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種極紫外光刻反射式光學元件溫控裝置，包括測溫單元、控制單元和冷卻單元，測溫單元用于檢測極紫外光刻反射式光學元件(11)的溫度分布或熱變形，為控制單元提供決策依據；控制單元用于接收測溫單元傳輸的實時監測數據，將控制命令發送給冷卻單元；冷卻單元用于根據控制單元發出的控制命令可控地對極紫外光刻反射式光學元件進行冷卻，其特征在于：所述冷卻單元包括環路熱管(23)，所述環路熱管(23)包括用于傳遞所述光學元件(11)產生的熱量的柔性管路(23b)，該柔性管路還用于隔絕由液冷系統(27)產生的振動傳遞至所述光學元件(11)。

2.如權利要求1所述的極紫外光刻反射式光學元件溫控裝置，其特征在于：所述柔性管路(23b)是細長而有柔性的光滑管道。

3.如權利要求1所述的極紫外光刻反射式光學元件溫控裝置，其特征在于：所述環路熱管(23)還包括蒸發器(23a)和冷凝器(23c)，

4.如權利要求3所述的極紫外光刻反射式光學元件溫控裝置，其特征在于：所述冷卻單元還包括擴熱板(22)，所述擴熱板(22)安裝在所述光學元件(11)的底部，用于均勻化所述光學元件(11)的溫度和強化導熱，所述環路熱管(11)的蒸發器(23a)與該擴熱板(22)連接。

5.如權利要求3所述的極紫外光刻反射式光學元件溫控裝置，其特征在于：所述冷卻單元還包括半導體制冷器(24)，所述半導體制冷器(24)具有冷端和熱端。

6.如權利要求3所述的極紫外光刻反射式光學元件溫控裝置，其特征在于：所述冷卻單元還包括冷卻套(26)和液冷系統(27)。

7.如權利要求3所述的極紫外光刻反射式光學元件溫控裝置，其特征在于：所述控制單元為控制器(25)，所述半導體制冷器(24)、控制器(25)以及冷卻套(26)置于全金屬密封的真空密封件(28)內。