[實用新型]一種ITO鍍膜生產線有效

申請號：	201320807172.0	申請日：	2013-12-11
公開（公告）號：	CN203700486U	公開（公告）日：	2014-07-09
發明（設計）人：	郭衛軍	申請（專利權）人：	湖北優泰顯示技術有限公司
主分類號：	C23C14/24	分類號：	C23C14/24;C23C14/56
代理公司：	北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348	代理人：	王偉鋒;劉鐵生
地址：	432500 湖北省孝感***	國省代碼：	湖北;42
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種 ito 鍍膜生產線
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【權利要求書】：

1.一種ITO鍍膜生產線，其特征在于：它包括玻璃基片輸送線、基片夾具、夾具機械手和真空鍍膜機，真空鍍膜機設置于玻璃基片輸送線的右端；所述基片夾具用于裝夾玻璃基片，所述基基片夾具放置在玻璃基片輸送線上進行輸送，夾具機械手夾持基片夾具并將基片夾具放置于真空鍍膜機內；所述真空鍍膜機包括有從左至右依次設置的SiO₂膜真空鍍膜室、ITO膜真空鍍膜室、穿透率檢驗室和阻抗特性檢驗室，真空鍍膜機還設置有穿設所述SiO₂膜真空鍍膜室、ITO膜真空鍍膜室、穿透率檢驗室和阻抗特性檢驗室的輸送帶。

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