[實(shí)用新型]一種ITO鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320807172.0
• 申請(qǐng)日: 2013-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203700486U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭衛(wèi)軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 湖北優(yōu)泰顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京鼎佳達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種ITO鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)，其特征在于：它包括玻璃基片輸送線(xiàn)、基片夾具、夾具機(jī)械手和真空鍍膜機(jī)，真空鍍膜機(jī)設(shè)置于玻璃基片輸送線(xiàn)的右端；所述基片夾具用于裝夾玻璃基片，所述基基片夾具放置在玻璃基片輸送線(xiàn)上進(jìn)行輸送，夾具機(jī)械手夾持基片夾具并將基片夾具放置于真空鍍膜機(jī)內(nèi)；所述真空鍍膜機(jī)包括有從左至右依次設(shè)置的SiO₂膜真空鍍膜室、ITO膜真空鍍膜室、穿透率檢驗(yàn)室和阻抗特性檢驗(yàn)室，真空鍍膜機(jī)還設(shè)置有穿設(shè)所述SiO₂膜真空鍍膜室、ITO膜真空鍍膜室、穿透率檢驗(yàn)室和阻抗特性檢驗(yàn)室的輸送帶。