[實用新型]機械手臂、傳送裝置及曝光設備

有效

• 申請號: 201320805345.5
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN203630509U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 胡曉棟
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B25J19/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別涉及一種機械手臂及包含所述機械手臂的傳送裝置和曝光設備。

背景技術

光刻是半導體制造的關鍵工藝之一，通過光刻工藝能夠將光掩模板上的特征圖形轉移到半導體器件上。為了在半導體器件的各個膜層中形成各種特征圖形，通常需要進行多次光刻。

光刻工藝的核心設備是曝光設備，所述曝光設備包括傳送裝置和曝光腔室，所述傳送裝置將涂布有光刻膠的硅片或玻璃基板傳送至曝光腔室中進行曝光，從而將光掩模板上的特征圖形轉移到光刻膠上。

現有技術中曝光設備的傳送裝置通常包括機械手臂和卡盤，所述卡盤與所述曝光腔室連接。傳送過程中機械手臂先將硅片或玻璃基板轉移給卡盤，再通過卡盤將硅片或玻璃基板傳送至曝光腔室中。

請參考圖1，其為現有技術的傳送裝置的結構示意圖。如圖1所示，所述傳送裝置100包括機械手臂110和卡盤120，其中，機械手臂110的手臂尖端111比較窄，卡盤120具有凹槽121，卡盤120的凹槽121比機械手臂110的手臂尖端111稍寬，在轉移硅片或玻璃基板之前需要調整機械手臂110與卡盤120的相對位置，使機械手臂110的手臂尖端111對準并靠近卡盤120的凹槽121。若轉移時機械手臂110的手臂尖端111沒有對準卡盤120的凹槽121，機械手臂110和卡盤120之間會出現摩擦，摩擦導致卡盤120的邊緣產生毛刺或變形，這會引起設備的真空偵測異常，同時，摩擦也會對機械手臂110造成損傷，縮短機械手臂110的使用壽命。

目前，由于判斷機械手臂110與卡盤120的相對位置只能依靠肉眼進行估計，因此并不精確。而且，由于曝光設備中各個部件的結構非常緊湊，肉眼很難看清楚機械手臂110與卡盤120的位置。所以，按照目前的判斷方式不能保證兩者完全居中，這給曝光設備的運行留下很大的隱患。

因此，如何解決現有技術的曝光設備由于機械手臂與卡盤不能對準影響設備運行并縮短機械手臂的使用壽命的問題成為當前亟需解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種機械手臂、傳送裝置及曝光設備，以解決現有的曝光設備由于機械手臂與卡盤不能對準影響設備運行并縮短機械手臂的使用壽命的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種傳送裝置，所述機械手臂包括：手臂主體、手臂尖端和對位輔助裝置；

所述手臂主體與手臂尖端相連，所述對位輔助裝置活動設置于所述手臂主體上。

優選的，在所述的機械手臂中，所述對位輔助裝置包括：激光發射器、反射透鏡組和基座；

所述激光發射器和反射透鏡組位于所述基座的同一側并固定于所述基座上，所述激光發射器的發射方向對準所述反射透鏡組。

優選的，在所述的機械手臂中，所述反射透鏡組包括依次排列的第一半反射透鏡、第二半反射透鏡、第三半反射透鏡和全反射透鏡；

所述第一半反射透鏡、第二半反射透鏡、第三半反射透鏡和全反射透鏡相互平行且均與所述基座的表面垂直；

所述激光發射器的發射方向與所述第一半反射透鏡的表面成45°夾角。

優選的，在所述的機械手臂中，所述第二半反射透鏡與第三半反射透鏡的間距根據所述手臂尖端的寬度進行設置，所述第一半反射透鏡與全反射透鏡的間距根據與所述手臂尖端配套的凹槽的寬度進行設置。

優選的，在所述的機械手臂中，所述手臂主體上設置有滑槽，所述對位輔助裝置的底部設置有滑塊，所述滑槽的外形尺寸與所述滑塊的外形尺寸相適配。

優選的，在所述的機械手臂中，所述滑塊的相對兩側分別設置有沉頭螺絲。

優選的，在所述的機械手臂中，所述基座包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板之間設置有轉軸；

所述第一基板和第二基板通過沉頭螺絲和彈性部件連接，所述彈性部件和沉頭螺絲分別位于所述轉軸的相對兩側。

優選的，在所述的機械手臂中，所述第一基板靠近第二基板的一側和所述第二基板靠近第一基板的一側均設置有與所述轉軸配合的圓弧形凹槽。

本實用新型還提供一種傳送裝置，所述傳送裝置包括：卡盤和如上所述的機械手臂；

所述卡盤具有凹槽，所述凹槽的寬度大于所述機械手臂的手臂尖端的寬度；

所述機械手臂上的第二半反射透鏡與第三半反射透鏡間距根據所述手臂尖端的寬度進行設置，所述機械手臂上的第一半反射透鏡與全反射透鏡的間距根據所述凹槽的寬度進行設置。

本實用新型還提供一種曝光設備，所述曝光設備包括如上所述的傳送裝置。