[實用新型]機械手臂、傳送裝置及曝光設備

有效

• 申請號: 201320805345.5
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN203630509U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 胡曉棟
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B25J19/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種機械手臂，其特征在于，包括：手臂主體、手臂尖端和對位輔助裝置；

所述手臂主體與手臂尖端相連，所述對位輔助裝置活動設置于所述手臂主體上。

2.如權利要求1所述的機械手臂，其特征在于，所述對位輔助裝置包括：激光發射器、反射透鏡組和基座；

所述激光發射器和反射透鏡組位于所述基座的同一側并固定于所述基座上，所述激光發射器的發射方向對準所述反射透鏡組。

3.如權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，所述反射透鏡組包括依次排列的第一半反射透鏡、第二半反射透鏡、第三半反射透鏡和全反射透鏡；

所述第一半反射透鏡、第二半反射透鏡、第三半反射透鏡和全反射透鏡相互平行且均與所述基座的表面垂直；

所述激光發射器的發射方向與所述第一半反射透鏡的表面成45°夾角。

4.如權利要求3所述的機械手臂，其特征在于，所述第二半反射透鏡與第三半反射透鏡的間距根據所述手臂尖端的寬度進行設置，所述第一半反射透鏡與全反射透鏡的間距根據與所述手臂尖端配套的凹槽的寬度進行設置。

5.如權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，所述手臂主體上設置有滑槽，所述對位輔助裝置的底部設置有滑塊，所述滑槽的外形尺寸與所述滑塊的外形尺寸相適配。

6.如權利要求5所述的機械手臂，其特征在于，所述滑塊的相對兩側分別設置有沉頭螺絲。

7.如權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，所述基座包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板之間設置有轉軸；

所述第一基板和第二基板通過沉頭螺絲和彈性部件連接，所述彈性部件和沉頭螺絲分別位于所述轉軸的相對兩側。

8.如權利要求7所述的機械手臂，其特征在于，所述第一基板靠近第二基板的一側和所述第二基板靠近第一基板的一側均設置有與所述轉軸配合的圓弧形凹槽。

9.一種傳送裝置，其特征在于，包括：卡盤和如權利要求1至8中任一項所述的機械手臂；

所述卡盤具有凹槽，所述凹槽的寬度大于所述機械手臂的手臂尖端的寬度；

所述機械手臂上的第二半反射透鏡與第三半反射透鏡間距根據所述手臂尖端的寬度進行設置，所述機械手臂上的第一半反射透鏡與全反射透鏡的間距根據所述凹槽的寬度進行設置。

10.一種曝光設備，其特征在于，包括如權利要求9所述的傳送裝置。