[實用新型]一種擴散爐石英管和石英門密封性檢測裝置

有效

• 申請號: 201320803680.1
• 申請日: 2013-12-10
• 公開（公告）號: CN203705136U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 張海林;崔慧敏
• 申請（專利權）人: 青島賽瑞達電子科技有限公司
• 主分類號: G01M3/28
• 分類號: G01M3/28;G01M3/04
• 代理公司: 山東清泰律師事務所 37222
• 代理人: 寧燕

技術領域

本實用新型涉及一種密封性檢測裝置，具體涉及一種擴散爐石英管和石英門之間的密封性檢測裝置。

背景技術

如圖1所示，在半導體領域閉管擴散爐設備中，石英管1一般為圓形，一端平口，另一端有圓弧封頭；石英門組成包括石英門8，其外部焊接石英門移動連接附件11，另一面焊接石英門隔熱包9（用于阻擋應用中熱量對石英門的輻射）。石英管在設備上一般臥式安裝，石英門在關門機構上安裝。使用時，將關門機構動作，通過石英門的移動安裝附件，帶動石英門實現動作，平穩的將石英門關閉到石英管口上，并通過關門機構形成一定的關閉力量，讓石英門和石英管口密封。

石英門和石英管口直接緊密接觸進行密封。傳統方式只是單獨要求石英管口端面磨砂處理，要求管口平整；石英門密封面10處磨砂處理，如圖2所示，要求整個密封面區域平面度要高。

采用對石英管口和石英門單獨進行技術要求的方式，一般認為分別滿足技術要求，即認為石英管口和石英門的密封效果良好，不進行實際密封的性能檢測。而實際情況是大多數匹配的密封面都有微漏，造成實際應用中被忽視，而在其它環節找原因，浪費大量的時間和工藝成本。

發明內容

為了解決以上技術問題，本實用新型提供了一種結構簡單、方便易行、操作簡單、可以直觀而徹底地檢測密封性是否符合密封要求的擴散爐石英管和石英門密封性檢測裝置。

本實用新型所述擴散爐石英管和石英門密封性檢測裝置，包括固定在石英管圓弧端的兩個進氣口，其中一個進氣口通過接頭與閥門連接，閥門與進氣管連接；另一個進氣口通過接頭與壓力表連接。

使用時，將石英管口和石英門密封面良好接觸，進氣管接氣源，打開閥門，氣體從進氣管口進入石英管內，當壓力表數值達到微正壓停止充氣，等待一會兒，如果壓力表指針沒有變化即密封性能優良；否則密封性能不良，有泄漏。

本實用新型所述石英管和石英門密封性檢測裝置，結構簡單、方便易行、操作簡單，從而直觀、徹底的檢測密封性是否符合密封要求。不符合要求的石英件生產廠家繼續修磨密封面，然后再次檢測，直到密封合格，給實際使用帶來了極大的保證，避免浪費大量的時間和工藝成本。

附圖說明

圖1為本實用新型所述石英管和石英門密封性檢測裝置的結構圖。

圖2為圖1中石英門組成的結構圖。

圖中各件號說明：

1-石英管；2-進氣口A；3-接頭；4-氣壓表；5-進氣口B；6-閥門；7-進氣管；8-石英門；9-石英門隔熱包；10-石英門密封面；11-石英門移動連接附件。

具體實施方式

結合圖1對本實用新型所述石英管和石英門密封性檢測裝置進行詳細說明。

實施例一。

本實用新型所述石英管和石英門密封性檢測裝置，包括：焊接在石英管1圓弧端的進氣口A2和進氣口B5。

其中，進氣口B5通過接頭3與閥門6連接，閥門6與進氣管7連接，進氣管7外接氣源。

進氣口A2通過接頭3與壓力表4連接。

進行檢測時，可選擇以下兩種方式進行：

1、用氣體檢測密封性能方法

（1）將石英管1圓弧封頭進氣口A2和進氣口B5上，按照圖1所示安裝上壓力表4、閥門6和進氣管7；

（2）將石英門8安放在特定的支架（圖中未示）上，讓石英門8自由平放，石英門密封面10在上；

（3）石英管1立式平放到石英門8上，豎立安穩的放置在石英門密封面10上，使石英管1端面和石英門密封面10良好接觸；

（4）不需要外力施壓，靠石英管1的自重既可以保證密封的正壓力；

（5）上述過程完成后，通過進氣管7通入氣體，打開閥門6，當壓力表4的數值達到50-200Pa后（即微正壓即可，不能將石英管頂起而漏氣）停止充氣；

（6）關閉閥門6，等待5分鐘，如果壓力表4的指針沒有變化即密封性能優良，滿足要求；如果壓力表4的指針變小，則密封性能不良，有泄漏，重新修整密封面，然后再次測量。

2、用水檢測密封性能方法

（1）將石英管8圓弧封頭進氣口A2和進氣口B5上，按照圖1所示安裝上壓力表4及閥門6（也可以不安裝壓力表4和閥門6，成為進氣口裸露開口狀都不影響）；

（2）將石英門8安放在特定的支架（圖中未示）上，讓石英門8自由平放，石英門密封面10在上；

（3）石英管1立式平放到石英門8上，豎立安穩的放置在石英門密封面10上，使石英管1端面和石英門密封面10良好接觸；

（4）不需要外力施壓，靠石英管1的自重既可以保證密封的正壓力；