[實用新型]一種擴散爐石英管和石英門密封性檢測裝置有效
| 申請號： | 201320803680.1 | 申請日： | 2013-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN203705136U | 公開（公告）日： | 2014-07-09 |
| 發明（設計）人： | 張海林;崔慧敏 | 申請（專利權）人： | 青島賽瑞達電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/28 | 分類號： | G01M3/28;G01M3/04 |
| 代理公司： | 山東清泰律師事務所 37222 | 代理人： | 寧燕 |
| 地址： | 266000 山東省青島市高*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 擴散 石英管 石英 密封性 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種擴散爐石英管和石英門密封性檢測裝置，其特征在于包括固定在石英管圓弧端的兩個進氣口，其中一個進氣口通過接頭與閥門連接，閥門與進氣管連接；另一個進氣口通過接頭與壓力表連接。
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