[實用新型]手動探針臺

有效

• 申請號: 201320799617.5
• 申請日: 2013-12-06
• 公開（公告）號: CN203616355U
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 方丹;方俊國
• 申請（專利權）人: 揚州飛塹電子設備有限公司
• 主分類號: G01R1/06
• 分類號: G01R1/06
• 代理公司: 揚州蘇中專利事務所(普通合伙) 32222
• 代理人: 許必元

技術領域

本實用新型涉及一種半導體芯片測試用的手動探針臺，屬于探針臺技術領域。

背景技術

在半導體芯片的生產和研制過程中，需要對芯片的各項參數進行過程測試和終端測試，完成測試所需的測試對準設備主要是探針臺。手動探針臺能方便、準確、快速的找到放置在承片臺上的芯片上所需要測試點，比如三極管的基區、發射區等，將手動探針臺上的探針和測試點可靠接觸，將配套測試儀器上設置的測試條件通過探針加到被測試管芯上，實現對管芯參數測試的目的。由于一片直徑為100mm的芯片上有幾千到幾萬個管芯，最多的（二極管）有10萬個以上，每個管芯的尺寸較小，基區和發射區的尺寸都小于0.1mm，要采用手動操作，實現在芯片上任意尋找一只管芯，將探針準確的對準該管芯的測試區域，對設備的設計有較高的精度要求，這主要體現在當粗調動作完成后能將粗調動作鎖緊，實現微調功能，將探針準確對準測試區域。

目前市場上手動探針臺通常都采用機械凸輪鎖緊和電磁鐵鎖緊來實現微調功能，結構復雜，振動大，鎖緊過程中有位移現象發生，精度較低，測試小管芯時精度差、效率低。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對上述現有技術的不足，提供一種手動探針臺，使待測芯片在測試過程中完成快速尋址對準后，能快速對快速尋址機構鎖緊，進行微調。

本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的：手動探針臺，包括探針臺底座、安裝在探針臺底座立柱上的顯微鏡、升降臺、固定在升降臺上用于安裝測試探針的探針架、用于放置待測試芯片的承片臺、安裝承片臺的承片臺座、快速尋址機構、鎖緊機構及微調裝置，所述探針臺底座下面設有電器盒，所述承片臺座置于快速尋址機構的導軌上，其特征是，

所述鎖緊機構由真空吸盤構成，真空吸盤與探針臺底座的臺面貼合，所述微調裝置設置在真空吸盤上，真空吸盤與快速尋址機構連接，真空吸盤與探針臺底座的臺面為真空鎖緊狀態時，快速尋址機構被固定鎖緊；所述真空吸盤下表面設有真空室，真空室設置在真空吸盤與探針臺底座之間，并與探針臺底座的臺面貼合。

所述真空室的直徑為95mm。

所述電器盒內設有電器、氣動部件，電器、氣動部件由直流24伏電源、電磁閥、鎖緊按鈕電路連接構成，鎖緊按鈕處于常開狀態，此時真空吸盤導入真空，真空吸盤與探針臺底座的臺面為真空鎖緊狀態，快速尋址機構被固定鎖緊，通過微調裝置對承片臺座進行微調；鎖緊按鈕閉合時，真空吸盤內真空釋放，真空吸盤與探針臺底座的臺面為非真空鎖緊狀態。

所述真空吸盤在與探針臺底座臺面貼合面處涂覆有0.3mm厚的特氟龍涂層。

在芯片測試過程中，當快速尋址機構完成粗調對準后，需要快速對快速尋址機構鎖緊，進行微調。本實用新型中的真空吸盤能方便的實現待測芯片粗調后的快速鎖緊，并且結構緊湊，精確可靠。當快速尋址機構被鎖緊后可通過微調裝置實施精對準，其特點在于利用真空的負壓作用，將真空吸盤吸附在探針臺的底座臺面上，從而將快速尋址機構動作鎖定，由于微調裝置安裝在真空吸盤上，當真空吸盤固定后，微調裝置的位置也被固定，此時調整微調裝置帶動承片臺做微調動作，實現微調對準。控制真空吸盤的吸緊和放松，是通過操作鎖緊按鈕來控制真空吸盤上真空室內是否導入真空，切換真空吸盤中真空的通斷可以控制吸盤的吸著和放松。

本實用新型中真空吸盤的下表面設有一直徑為95mm的真空室，真空室和探針臺的工作臺面貼合，設計了一個真空通道，根據需要對真空室導入真空或釋放真空，當真空室內導入真空時，真空吸盤會牢牢的吸附在探針臺工作臺面上，當真空室內導入的真空被切斷時，真空吸盤的吸力會由于真空的泄放而自動消失。當真空室真空為-0.04MPa時，真空吸盤和工作臺面的吸力可達到15Kgf以上，遠遠滿足微調時承片臺移動時的反作用力。

本實用新型中真空吸盤上和探針臺底座的臺面接觸的一面，采用了特氟龍表面涂層處理技術，既保證了密封效率，同時降低真空吸盤在探針臺工作表面上移動時的摩擦系數。本實用新型結構簡單合理、易實現，能在芯片測試對準過程中，在完成快速粗對準后將快速尋址機構鎖緊，實施微調動作。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型中微調裝置的結構示意圖；

圖3為本實用新型中電器、氣動部件控制原理圖

圖中：1電器盒、2探針臺底座、3快速尋址機構、4微調裝置、5承片臺座、6承片臺、7升降臺、8探針架、9顯微鏡、10真空吸盤、11真空室、12電源、13電磁閥、14鎖緊按鈕。

具體實施方式