[實用新型]手動探針臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320799617.5
• 申請日: 2013-12-06
• 公開（公告）號: CN203616355U
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發(fā)明（設計）人: 方丹;方俊國
• 申請（專利權）人: 揚州飛塹電子設備有限公司
• 主分類號: G01R1/06
• 分類號: G01R1/06
• 代理公司: 揚州蘇中專利事務所(普通合伙) 32222
• 代理人: 許必元

1.一種手動探針臺，包括探針臺底座、安裝在探針臺底座立柱上的顯微鏡、升降臺、固定在升降臺上用于安裝測試探針的探針架、用于放置待測試芯片的承片臺、安裝承片臺的承片臺座、快速尋址機構、鎖緊機構及微調裝置，所述探針臺底座下面設有電器盒，所述承片臺座置于快速尋址機構的導軌上，其特征是，

所述鎖緊機構由真空吸盤構成，真空吸盤與探針臺底座的臺面貼合，所述微調裝置設置在真空吸盤上，真空吸盤與快速尋址機構連接，真空吸盤與探針臺底座的臺面為真空鎖緊狀態(tài)時，快速尋址機構被固定鎖緊；所述真空吸盤下表面設有真空室，真空室設置在真空吸盤與探針臺底座之間，并與探針臺底座的臺面貼合。

2.根據(jù)權利要求1所述的手動探針臺，其特征是，所述真空室的直徑為95mm。

3.根據(jù)權利要求1所述的手動探針臺，其特征是，所述電器盒內設有電器、氣動部件，電器、氣動部件由直流24伏電源、電磁閥、鎖緊按鈕電路連接構成，鎖緊按鈕處于常開狀態(tài)，此時真空吸盤導入真空，真空吸盤與探針臺底座的臺面為真空鎖緊狀態(tài)，快速尋址機構被固定鎖緊，通過微調裝置對承片臺座進行微調；鎖緊按鈕閉合時，真空吸盤內真空釋放，真空吸盤與探針臺底座的臺面為非真空鎖緊狀態(tài)。

4.根據(jù)權利要求1所述的手動探針臺，其特征是，所述真空吸盤在與探針臺底座臺面貼合面處涂覆有0.3mm厚的特氟龍涂層。