[實用新型]一種鍍膜設備的工藝氣體布氣裝置有效
| 申請號: | 201320793171.5 | 申請日: | 2013-12-06 |
| 公開(公告)號: | CN203602707U | 公開(公告)日: | 2014-05-21 |
| 發明(設計)人: | 閆乃明;朱世元 | 申請(專利權)人: | 深圳市金耀玻璃機械有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/35 | 分類號: | C23C14/35 |
| 代理公司: | 深圳力拓知識產權代理有限公司 44313 | 代理人: | 龔健 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市寶*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 鍍膜 設備 工藝 氣體 裝置 | ||
1.一種鍍膜設備的工藝氣體布氣裝置,包括氣體分布板(1),氣體分布板(1)設有多個出氣孔(2)和氣體通道,氣體通道與出氣孔(2)相連通,其特征在于:所述的出氣孔(2)在氣體分布板(1)上沿橫軸線呈上下對稱分布且沿縱軸線左右對稱分布,所述的氣體通道沿橫軸向呈左右對稱的樹形結構與出氣孔(2)相連通,每相鄰的兩個出氣孔(2)的距離相等。
2.根據權利要求1所述的一種鍍膜設備的工藝氣體布氣裝置,其特征在于:還包括設置在氣體分布板(1)上方的隔離板(3),隔離板(3)通過螺栓與氣體分布板(1)固定。
3.根據權利要求2所述的一種鍍膜設備的工藝氣體布氣裝置,其特征在于:所述的隔離板(3)與氣體分布板(1)之間設有密封墊。
4.根據權利要求1所述的一種鍍膜設備的工藝氣體布氣裝置,其特征在于:所述的氣體通道包括主氣體通道(4)和支氣體通道(5),主氣體通道(4)為兩個或多個,支氣體通道(5)為與主氣體通道(4)相連通的兩個或多個依次連通的氣體通道。
5.根據權利要求4所述的一種鍍膜設備的工藝氣體布氣裝置,其特征在于:所述的主氣體通道(4)的個數為兩個且沿橫軸線上下對稱設置。
6.根據權利要求4所述的一種鍍膜設備的工藝氣體布氣裝置,其特征在于:所述的主氣體通道(4)的個數為四個,分為設置在橫軸線上方的一個和橫軸線下方的三個主氣體通道。
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