[實用新型]半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟升降裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320778607.3
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN203596342U
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林欣家;郝琪;董金衛(wèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟的升降裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，是一種要求能長時間連續(xù)工作，具有優(yōu)異的控溫精度及良好的可靠性、穩(wěn)定性的自動控制設(shè)備，適用于集成電路制造過程中各種氧化、退火和薄膜生長等工藝。

在半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備內(nèi)部安裝有各種零部件，如石英舟升降機(jī)構(gòu)、熱交換器、傳硅片機(jī)械手、過濾器、自動爐門等，而考慮到設(shè)備經(jīng)濟(jì)性，對半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備整體尺寸有具體要求，其內(nèi)部空間尺寸有限，如何在有限的空間內(nèi)，在保證功能滿足、結(jié)構(gòu)合理的前提下，盡可能使結(jié)構(gòu)緊湊、占據(jù)空間小，便成為了對立式氧化爐內(nèi)部零部件的新的要求。

現(xiàn)有的半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟升降裝置，結(jié)構(gòu)不夠緊湊，占用設(shè)備微環(huán)境內(nèi)的空間較大。同時，升降裝置的維護(hù)不夠方便，例如拆裝同步帶輪等，需要對整個裝置進(jìn)行整體拆卸才能完成。同時，半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備工藝需要潔凈度較高的環(huán)境，現(xiàn)有的升降裝置在運(yùn)動過程中容易產(chǎn)生摩擦，石英舟進(jìn)出爐的運(yùn)動機(jī)構(gòu)自動化程度低、污染工藝環(huán)境，無法滿足工藝的需求。

因此，有必要提出一種結(jié)構(gòu)緊湊，自動化程度高的石英舟升降裝置。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的旨在提供一種結(jié)構(gòu)優(yōu)化的石英舟升降裝置，在運(yùn)行靈活精確，平穩(wěn)可靠，且保證工藝效果的前提下使其具備高剛性、高可靠性、結(jié)構(gòu)緊湊和占據(jù)空間小等優(yōu)點。

為達(dá)成上述目的，本實用新型提供一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟升降裝置，具體包含以下部分：驅(qū)動機(jī)構(gòu)；支撐件，其橫截面為U形；雙直線導(dǎo)軌，直立地對稱設(shè)置在所述支撐件兩側(cè)；由所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動轉(zhuǎn)動的滾珠絲杠，其設(shè)置于所述支撐件中部；連接板，安裝于所述滾珠絲杠，隨所述滾珠絲杠的轉(zhuǎn)動沿所述雙直線軌道的方向上升或下降；以及承載石英舟的升降臂，與所述連接板固定連接，由所述連接板的運(yùn)動帶動上升或下降。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)通過傳動機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述滾珠絲杠轉(zhuǎn)動，所述傳動機(jī)構(gòu)包括同步帶輪和同步帶，所述滾珠絲杠與所述同步帶輪同軸連接，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)通過所述同步帶驅(qū)動所述同步帶輪。

優(yōu)選地，所述傳動機(jī)構(gòu)設(shè)于底部安裝盒內(nèi)，所述底部安裝盒用于支撐所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)及所述支撐件和雙直線導(dǎo)軌。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)和減速機(jī)；所述減速機(jī)的輸入端與所述伺服電機(jī)相連，輸出端與所述傳動機(jī)構(gòu)相連。

優(yōu)選地，所述雙直線導(dǎo)軌設(shè)置在所述支撐件的外側(cè)。

優(yōu)選地，所述石英舟升降裝置還包括滾珠絲杠護(hù)罩，其設(shè)置于所述支撐件的開口側(cè)，用于遮蔽所述滾珠絲杠。

優(yōu)選地，所述石英舟升降裝置還包括制動器，設(shè)于所述滾珠絲杠的頂部，用于在所述同步帶斷裂時防止所述滾珠絲杠下滑。

優(yōu)選地，所述石英舟升降裝置還包括用于對所述同步帶進(jìn)行檢測的光電傳感器，其設(shè)于所述同步帶附近，當(dāng)檢測所述同步帶斷裂時發(fā)出信號至所述制動器。

優(yōu)選地，所述石英舟升降裝置還包括布置有電線和/或冷卻水管的拖鏈，其一端通過拖鏈安裝板安裝在一導(dǎo)軌安裝座上，所述導(dǎo)軌安裝座沿所述雙直線導(dǎo)軌上升或下降。

優(yōu)選地，所述石英舟升降裝置還包括拖鏈護(hù)板，其以包圍所述拖鏈的方式設(shè)置，用于遮蔽所述拖鏈。

優(yōu)選地，所述雙直線導(dǎo)軌上設(shè)有沿所述雙直線導(dǎo)軌上升或下降的兩個滑塊，所述連接板與所述兩個滑塊固定連接，所述導(dǎo)軌安裝座安裝于所述滑塊上。

本實用新型所提出的半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟升降裝置，結(jié)構(gòu)合理且緊湊，具有較高的剛性，可靠性高，易于安裝和維護(hù)；此外保障了微環(huán)境的潔凈度，從而保證了硅片的質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實用新型半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示的半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的俯視圖；

圖3為圖1所示的半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的正視圖和剖視圖；

圖4為本實用新型半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的局部示意圖；

圖5為本實用新型半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的傳動機(jī)構(gòu)的支撐件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為圖5所示的支撐件的俯視圖；

圖7為本實用新型半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的支撐件、雙直線軌道以及滾珠絲杠的俯視圖；

圖8為本實用新型半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的傳動機(jī)構(gòu)的示意圖；

圖9為本實用新型半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的拖鏈的安裝示意圖；

圖10為本實用新型半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備石英舟升降裝置的局部示意圖。

【主要組件符號說明】