[實用新型]半導體擴散設備的石英舟升降裝置有效
| 申請號： | 201320778607.3 | 申請日： | 2013-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN203596342U | 公開（公告）日： | 2014-05-14 |
| 發明（設計）人： | 林欣家;郝琪;董金衛 | 申請（專利權）人： | 北京七星華創電子股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;林彥之 |
| 地址： | 100016 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 擴散 設備 石英 升降 裝置 | ||
1.一種半導體擴散設備的石英舟升降裝置，其特征在于，包括：?
驅動機構；?
支撐件，其橫截面為U形；?
雙直線導軌，直立地對稱設置在所述支撐件兩側；?
由所述驅動機構驅動轉動的滾珠絲杠，其設置于所述支撐件中部；?
連接板，安裝于所述滾珠絲杠且與所述雙直線導軌滑動連接，隨所述滾珠絲杠的轉動沿所述雙直線軌道的方向上升或下降；以及?
承載石英舟的升降臂，與所述連接板固定連接，由所述連接板的運動帶動上升或下降。?
2.根據權利要求1所述的石英舟升降裝置，其特征在于，所述驅動機構通過傳動機構驅動所述滾珠絲杠轉動，所述傳動機構包括同步帶輪和同步帶，所述滾珠絲杠與所述同步帶輪同軸連接，所述驅動機構通過所述同步帶驅動所述同步帶輪。?
3.根據權利要求2所述的石英舟升降裝置，其特征在于，所述傳動機構設于底部安裝盒內，所述底部安裝盒用于支撐所述驅動機構及所述支撐件和雙直線導軌。?
4.根據權利要求2所述的石英舟升降裝置，其特征在于，所述驅動機構包括伺服電機和減速機；所述減速機的輸入端與所述伺服電機相連，輸出端與所述傳動機構相連。?
5.根據權利要求1所述的石英舟升降裝置，其特征在于，所述雙直線導軌設置在所述支撐件的外側。?
6.根據權利要求1所述的石英舟升降裝置，其特征在于，還包括滾珠絲杠護罩，其設置于所述支撐件的開口側，用于遮蔽所述滾珠絲杠。?
7.根據權利要求2所述的石英舟升降裝置，其特征在于，還包括制動器，設于所述滾珠絲杠的頂部，用于在所述同步帶斷裂時防止所述滾珠絲杠下滑。?
8.根據權利要求7所述的石英舟升降裝置，其特征在于，還包括用于對所述同步帶進行檢測的光電傳感器，其設于所述同步帶附近，當檢測所述同步帶斷裂時發出信號至所述制動器。?
9.根據權利要求1所述的石英舟升降裝置，其特征在于，還包括布置有電線和/或冷卻水管的拖鏈，其一端通過拖鏈安裝板安裝在一導軌安裝座上，所述導軌安裝座沿所述雙直線導軌上升或下降。?
10.根據權利要求9所述的石英舟升降裝置，其特征在于，還包括拖鏈護板，其以包圍所述拖鏈的方式設置，用于遮蔽所述拖鏈。?
11.根據權利要求9所述的石英舟升降裝置，其特征在于，所述雙直線導軌上設有沿所述雙直線導軌上升或下降的兩個滑塊，所述連接板與所述兩個滑塊固定連接，所述導軌安裝座安裝于所述滑塊上。?
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
